传感器与检测技术第四版-第二章.pptVIP

5. 应变式扭矩传感器 扭矩：M=Fl 6. 应变式张力传感器 2.2 压阻式传感器 2.2.1 半导体的压阻效应 定义：单晶半导体材料沿某一轴向受外力作用时，其电阻率会 发生变化 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。 主要用于测量压力、加速度和载荷等参数 半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大， 必须要有温度补偿。 压阻效应 半导体电阻率 压阻系数，与材料及应力方向与晶轴方向之间的夹角有关 E为半导体材料的弹性模量，与晶向有关 材料几何形状变化引起 压阻效应的影响，随电阻率而变化 半导体材料 半导体单晶的应变灵敏系数 应变灵敏系数还与掺杂浓度有关，它随杂质的增加而减小 2.2.2 体型半导体电阻应变片 1. 结构型式及特点 优点：灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍 横向效应和机械滞后极小 缺点：温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多 2. 测量电路 恒压源 恒流源 输出电压受环境温度的影响 环境温度的变化对其没有影响 2.2.3 扩散型压阻式压力传感器 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件，在它上面直接蒸镀半导 体电阻应变薄膜 工作原理： 膜