2021椭偏测薄膜厚度.pptVIP

【实验目的】 ? （ 1 ）了解薄膜的厚度测量的基本原理。 ? （ 2 ）利用椭圆偏振光消光法，测定透明薄膜的厚 度。 【实验原理】 ? 有一束自然光通过起偏器后，变成了线偏振光，再 经过一个波片，变成了椭圆偏振光。这样的椭圆偏 振光入射到待测的薄膜表面上时，反射光的偏振状 态发生了变化。我们测量这种变化，就可以计算出 待测薄膜的厚度。 ? （ 1 ）椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量 ? 图 8.1 所示为一光学均匀和各向同性的单层介质 膜，它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为 n1 的空气 ( 或真空 ) ．中间是一层厚度为 d 折射率为 n2 的介质薄膜，下层是折射率为 n3 的衬底，介质薄膜 均匀地附在衬底上，当一束光射到膜面上时，在界 面 1 和界面 2 上形成多次反射和折射，并且各反射光 和折射光分别产生多光束干涉．其干涉结果反映了 膜的光学特性。 ? 图 8.1 ? 1 表示光的入射角，和分别为在界面 1 和 2 上的折 ? 设 射角．根据折射定律有 n sin ? ? n sin ? ? n sin ? 1 1 2 2 3 3 ?