半导体 单晶硅生长及硅片制备技术.pdfVIP

半导体材料与集成电路基础 第三讲：单晶硅生长及硅片制备技术 内容 • 多晶硅原料制备技术 • 石英坩埚的制备技术 • 硅单晶生长方法 • 单晶硅生长过程的技术要点 硅晶片的生长技术 •单晶硅基片(Silicon Wafer)，之所以在诸多半导体元素如 锗(Germanium)或化合物半导体如砷化稼(GaAs)等材料中 脱颖而出，成为超大规模集成电路(VLSI)元器件的基片材 料，其原因在于，首先，硅是地球表面存量丰富的元素 之一，而其本身的无毒性以及具有较宽的带宽 （Bandgap)是它在微电