2021ETCHPCB蚀刻培训教材解析.pptVIP

生产线简介 1. 内层酸性蚀刻 冲、蚀板、褪菲林生产线机器运行参数 ? 3 ? ì ? ° 3 ? ′ ° ê ? ê ? í ¤ ? ? ù è ? ? ò ? ? 1 á | 1.6-3.0m/min ? é 28-32Psi ? ? 28-32Psi 0.9-3.0m/min é ? 25-35Psi ? 10-32Psi ? 1.5-3.0m/min é ? 22-35Psi ? 10-30Psi ? ? ? ? ′ ? 1 á | ? ? ? è ? é 10-30Psi 26-30 ? ? ? ? 10-30Psi ? 10-30Psi 48.9-54.4 ? é ? ? 10-30Psi ? ? 10-30Psi 40.6-51.7 ? é ? ? 10-30Psi ? ? × ± ￠ 冲板、褪膜、褪菲林换药和补药标准 ? ? ? 3 3 ? ° ? ú ? è ? Y y (é y ) × ? 600(800) ò ? ? ? ? ? 3 ? Na 2 CO 3 y ? 3 Y ? á 940 · á Y ? ¨ ? ? è ? ? ? è 4.8kg(6.4kg) 0.6-1.0% 26-30 ? ? 830ml(1000ml) 0.1-0.2% ? 2 1 ò ? ? ? ? ? ê ˉ ? ó ò ? : ? ? 3 ? 800 ? é ° ? ? ? × ? ? × ˉ ? ó ò ? , ? ° à ° ? ? ò ′ ? 3 ? ° ? ? ú × ? ? ˉ ? ó ò ? ? × ê ′ ? ì ? ú 400(800) 500X2 í ê ? ¤ 480(800) Na 2 CO 3 y ? 3 Y ? á Cu2+ ± è ? ? HCl ? ? ? ? ? ? H 2 O 2 NaOH y ? 3 Y ? á 3.2kg 640ml(640ml) í ? é ? 3 ￡ ? ? × ? ? ˉ í ì ? ó ? ? × ˉ ? ó ? ò 1.1-1.280 48.9-54.4 ? ? 2.0-3.5 / 14.4kg(25kg) 480ml(300ml) 3± 0.5% 40.6-51.7 ? ? 0.1-0.2% (50-55) 2. 外层碱性蚀刻 A) 使用的是 TCM 退膜、蚀刻机，设备性能参数： 有效宽度： 620mm 行辘速度： 0~8m/min 压 力： 2.5kg/cm 2 安 全 性：机械、电气部分有良好保护，有紧急 开关。 B). 操作条件 退膜液浓度 :3 ? 0.5%( 重量比 ) 退 膜 速 度 : 2.5~3.5m/min 退 膜 温 度 :48~54 o C 退膜液喷压 :18~40PSI 水 洗 压 力 : 20~40PSI 蚀刻液温度： 46~52 o C 蚀刻液 PH 值： 7.8~8.4(50 o C) 蚀刻液比重： 1.170~1.190 Cu 2+ ： 115~135g/l ， Cl ： 150~190g/l 喷药水压力： 18~30PSI 喷水压力： 20~40PSI 生产线维护 设备的日常保养 A. 不使蚀刻液有 sludge 产生 ( 浅蓝色一价铜污泥 ), 当结渣越 多，会影响蚀刻液的化学平衡，蚀刻速率迅速下降。所 以成份控制很重要－尤其是 PH, 太高或太低都有可能造成 . B. 随时保持喷嘴不被堵塞 .( 过滤系统要保持良好状态 ) 每周保养时检查喷嘴，若堵塞则立即清除堵塞物。 C. 及时更换破损的喷嘴和配件 D.PH 计，比重感应器要定期校验 . 生产注意事项 1. 严格控制退膜液的浓度 , 以保证干膜以合适的速度和大小 退去 , 且不易堵塞喷嘴。 2. 退膜后水洗压力应大于 20PSI ，以便除去镀层与底铜间 的残膜和附在板面上的残膜。 3. 蚀刻药水压力应在 18 ~30PSI, 过低则蚀刻不尽 , 过高则易 打断药水的保护膜 , 造成蚀刻过度。 影响蚀刻速率因素分析