JSM-6510LV性能简介与指标.docxVIP

扫描电子显微镜 JSM-6510系列主要性能简介 JSM-6510系列扫描电子显微镜，是日本电子株式会社在 2008年7月的最新型升级版数字化控制 电镜，是一直以来在中国国内及世界销售名列第一并深受用户好评的 JSM-6390系列的基础上，进一 步在信号探测系统、操作界面、导航软件等方面升级的新产品，新机型同时 兼备了前代产品出色稳定 的控制系统。主要特点为：钨灯丝电子枪型，高、低电压保证高分辨率，高精度可变焦聚光镜系统， 全对中优中心样品台，高感度半导体背散射 电子探头，高真空系统标配分子泵或油扩散泵，导航操作 等。产品运用覆盖材料科学、生命科学和其他科学领域，在无机化合物，有机化合物以及金属材料， 土壤，矿产，医药，精细化工产品，电子材料，生物样品等的分析鉴定上广受推崇。 日本电子系列扫描电镜在中国国内众多重点实验室、 科学院部门、科研所、大专院校、医疗机构、 政府机构和企业单位都有使用。 JSM-6510系列主要特点： 保证分辨率 (Resolutio n) 钨灯丝电子枪时高真空模式： 3.0nm (30kV), 8.0nm (3kV)，15nm (1kV) 低真空模式：4.0nm( 30kV) JSM-6510系列既有高加速电压下的高分辨率，也有低加速电压下高分辨率。 全自动电子枪 (Fully Automated Electro n Gun) 当真空度达到要求后，只需按下 HT按钮，从加速电压的提升，到图像的出现全部自动完成。自动 功能包括：自动电子枪加热、无缝自动偏压、自动合轴、自动聚焦、自动适时聚焦、自动亮度、自 动对比度、自动消像散、自动像散记忆等。 无缝自动偏压 (Seamless automatic bias ) 在全加速电压范围(包含低加速电压范围)内，实现无缝自动偏压，图像亮度、信噪比始终最优化， 即使在低电压时，图 像质量也大大提高。 大视野观察范围 (Large Field of View ) 最低倍数为5倍，可观测到2厘米见方的样品，便于查找观察位置。 图象电气移动距离大(Large Electrical Image Shift ) 图象电气移动距离大： +/-50卩m , WD=10mm。 高性能的变焦聚光镜系统 (Precisio n Zoom Co nden ser lens) (专利)，照射电流发生变化时，保 障以下三个功能：a,图像始终适时聚焦(不需重复按自动聚焦键)；b,图象衬度及分辨率自动最优化； c,视野中心基本不发生变动。 能胜任大 WD的超级圆锥形物镜 (Super Coni cal Objective Lens) 在较大 WD下仍能实现高分辨，如在能谱仪工作位置 WD=10mm 时，既能分析还可以高分辨观察； 由于该物镜特性，粗糙表面样品也可以获得大景深清晰图象。 高感度半导体背散射电子探头 (High sen sitivity semico nductor detector) (可选) 该探头感度很高，并能提供三种成像：成分像、形貌像和立体像。其中的立体像不仅立体感强，更 实现了组成信息立体化显示(专利) 。 多幅活图像同时显示 (Multi Live Image Display ) 二次电子探头、背散射电子探头(可选)、STEM探头(可选)装配上时，它们的活图像可同时显示， 观察的方式和组合形式可进行多样选择。 操作导航器 (Operation navigator ) 引导和提示操作流程。维护作业动画导航。 全对中优中心样品台 (Euce ntric Stage)该样品台能保证样品平移、斜移或倾斜时， 全对中优中心样品台 (Euce ntric Stage) 该样品台能保证样品平移、斜移或倾斜时， WD=5mm~48mm 全范围均可以实现。 分子泵真空系统或油扩散泵真空系统 电镜的高真空系统可按要求配置分子泵 低真空功能选配(Low Vacuum SEM) 对于非导电性样品或者导电性差的样品， 实现优中心动作，聚焦状态保持不变 ，而且该性能在 当样品倾斜时，全对中样品台可使图像位移和焦点变化最小。 (TMP System or DP System ) +机械泵，或者油扩散泵 +机械泵。 采用低真空环境可以减缓样品的放电效应，该功能可适合 于半导体、电子、化工、生物、冶金、矿冶等样品的观察。 低真空范围：1Pa -270Pa，低真空系统为独立真空系统，标配低真空防污染前置阱。 14.各种探测探头的选配 (Variety of Detectors Mou nted) 可以选配高感度半导体背散射探头、能谱仪、波谱仪、 EBSD探头、红外相机、低真空二次电子探 头等。搭配JEOL能谱仪时，可实现扫描电镜和能谱仪一体化控制。 扫描电镜的基本配置 常规扫描电子显微镜的构成包括了：