三坐标隔振的几种方式.pdfVIP

三坐标隔振的几种方式 三坐标为什么要隔振： 随着社会的进步和发展，机械加工已经进入了精密和超精密时代。三坐标测量机是现代精密和 超精密加工工厂检测的重要设备，然而工厂为了提高生产效率，减少运输等辅助加工时间， 设备之间的间距越来越小，生产车间的三坐标测量机一般靠近等各种机加工设备（如 冲压设备）和运输通道。由于机加工设备的运转和运输车辆的行驶，使三坐标测量机时刻处于剧 烈的振动环境中，尤其是低频振动和冲击，对三坐标测量机要完成精密测量和快速测量产生产生的影 响是不可接受的。 不同频率的振动对测量机的影响也是不同的，尤其是低频振动，如果同测量机自身的振动频率相 近，将会产生共振，对于测量精度会产生较大影响，因此，用户应该根据三坐标使用说明书上对振动 的要求做好有效的隔振措施。如某公司在其使用说明书中对振动做了详细要求，具体要求如下： 对于计量型，要求： 频率=10Hz，振幅=0.3um 10Hz频率=30Hz,振幅=0.5um 频率30Hz，振幅=1um 对于工作型，要求 频率=10Hz，振幅=1um 10Hz频率=30Hz,振幅=1.5um 频率30Hz，振幅=2um~3um 地面振动超过上述值时，应使用隔振器，此时要求： 频率=10Hz,振幅=10um 频率10Hz，振幅20um 隔振方式： 1、基坑隔振： 国内传统的三坐标方式为采用挖隔振坑来对测量机设备进行隔振。在基坑内填置鹅卵 石，细沙等材质。但此类材质容易受环境影响，温度，湿度等对其自身性能影响较大。沙子在干 燥松软和潮湿粘结情况下的隔振效果是由天壤之别的。 因此可以选择Fabreeka公司隔振垫替代传统填充物，Fabreeka隔振垫固有频率低，性能稳定， 耐腐蚀，耐高低温，组合使用可以达到更好的隔振效果。用来取代沙子，鹅卵石等，可以少去很多工 序，直接把基础块放置在隔振垫上即可。 垂直固有频率 水平固有频率 隔振垫 20-60Hz 20-60Hz 组合隔振垫 7-13Hz 7-13Hz 隔振垫配合基坑隔振使用 2、空气弹簧隔振 如今，三坐标测量精度已大幅度提高，使用厂家对实验室测量环境要求也越来越 严苛，基坑隔振不能隔离的低频振动问题，越来越成为提高三坐标测量机精度的严峻 挑战。且高的土地成本和后续会有三坐标移机等问题存在，使得基坑隔振越来越不能 满足三坐标测量机使用厂家的需求。 而且测量机在工作过程中会有不同速度的移动，从而造成了在工作过程中整体重 心一直在变化的情况，所以增加三坐标测量设备的动态稳定性，是非常有必要的 这就需要隔 。 振系统不仅要能够隔绝周围环境所产生的振动，还需要保持测量机工作平台的水平度， 维持测量机的动态稳定性。 德国Fabreeka公司自1936年以来一直都居于解决振动和冲击问题领域的领导地 位。公司为各个行业提供振动和冲击问题的整体解决方案。公司推出的Fabreeka 气浮 隔振方案提供了几乎“无振动”的环境，且能自动调平工作台面，可以很好的解决目前基坑隔振 不能解决的问题。从而使三坐标的测量精度和测量速度得到大幅的提升。因此采用Fabreeka 列 气浮隔振单元逐渐被三坐标使用厂家所接受。 Fabreeka气浮隔振单元的应用 FabreekaPAL气浮隔振单元 固有频率 垂直方向 水平方向 PAL-6系列 2.5-2.7Hz 2.0-4.5Hz PAL-12系列 1.5-1.7Hz 2.0-4.5Hz FabreekaPLM气浮隔振单元 垂直 水平 固有频率 3-5Hz 3-5Hz 水平调节单元 Fabreeka气浮