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激光干涉仪检测数控机床线性精度探讨 概述 激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利川边克耳逊干涉系统测量位移的通川长度测量 工具，激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床 误并修正提供依据。使用激光干涉仪检测机床各项误并并进行修正是传统测量于段难以实现 的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。 使用激光干涉仪校准机床的必要性 首先,新机床出厂前都要进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测，现在大多 使用激光干涉仪进行. 其次，机床使用一段时问后，由于丝杠的磨损和其它原因，精度会逐渐丧失，这时需要使用激 光干涉仪进行精度的再校准. 最后,激光干涉仪还可以进行其它项H的检测，例如直线度，垂直度，角度等.。 激光干涉仪测量原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束） 射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜， 这两道光束再反射冋到分光镜，重新汇聚之后返冋激光器，其屮会有一个探测器监控两道光 束之间的干涉。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极Z间找到稳定 的信号。 若光程羌有变化时，探测器会在毎一次光程变化时，，在相长性和相消性干涉的两极Z间 找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程Z间的差异变化。 激光干涉仪线性测量步骤 （1） 安装设置激光干涉仪 （2） 将激光束与被测量的轴校准 （3） 启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。 （4） 在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。 （5） 用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。 光束快速准直步骤 （1） 沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。 （2） 移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停II：移动。 垂直光束调整 （3） 使用激光头后方的指形轮使两道光朿回到相同的高度。 （4） 使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光 靶屮心。 水平光束调整 （5） 用三脚架左后方的小旋钮，调桀激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。 （6） 用三脚架左边屮间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光朿击屮光靶的屮 心。 （7） 沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步 骤3到6,育到完成整个轴向的光镜准直。 （8） 达到轴的末端时，将机床移冋，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其屮一 道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜 返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。 重复步骤1到8,直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的屮心。 （9）保持光束和测量轴准真。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运 动长度移动时，检杏线性数据采集软件屮显示的信号强度。 五?测量误差的产生和消除方法 1）机器温度的影响 机床温度偏离，将导致输入的膨胀系数与材料的实际变化不同，影响测量精度。如果温 度传感器的精度为±0. 1 C,而膨胀系数变化10 um/r时，将产生±1.0 um的测量误差； 若输入不正确的机器热膨胀系数输入不正确，产生的误差会更多。因此，应保证外界环境温 度的稳定性，最好在恒温环境屮测量。 2）死程误差的影响 死程误并是在线性测最过程屮与坏境因素改变冇关的误并，这时已采丿I打I动补偿单元的 补偿功能进行消除。在正常状况下,死程课差并不大,而且只会发生在定标后以及测量过 程屮的坏境改变。 路径L2的激光测量死程误差与两个光学元件间的跖离有关，此时系统定标为L.0若干 涉镜及反射镜Z间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径（L, + U）的波长 （空气屮）都会改变，但激光测最系统只会对L2趾离进行补偿。因此，死程测量误羌会 由于光束路径4没有秋得补偿而产生。 H I 倉考反射俺 ? 十 1 Ll? 4 49， 皿如? 死程误并来源 因此在设定定标位置时，固定反射镜和移动镜组应尽力彼此邻接，以此减小死稈谋茅。 图降低死稈误苯操作 3）环境的影响 在使用激光干涉仪对数控机床的位置精度检测屮，导致测量精度偏差的因索很多，必须 采取措施分析消除。外界环境的变化将会对测量数据的准确性参数影响，如空气温度变化 1 °C、空气压力变化0.3 kPa.相对湿度变化30%。尤其是振动对测量准确性的影响，振动 产生的影响主要表现在测量数据的分散，重复测量精度差，萇至导致无法测量。 因此，应保证外界环境的稳定性，最好在恒温环境屮测量。在外界环境偏离测量要求的 标准条件时，可使用相关的补偿参数加以修正，测量软件可白动对温度、压力、湿度等条件 进行补偿。尽杲减少热源（照明灯、机床T作灯）。尽可能的减少外界的各种振动，可以在 下班后比较