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材料科学研究方法 —— 第五章电子显微分析基础 （电子与物质的相互作用） 1 一、电子信号在电子显微分析中的应用 电 子 探 针 X 射 线 轫致辐射 入 射 电 子 束 二次电子 反射电子 吸收电子 样 品 扫 描 电 镜 阴极发光 俄歇电子 透射电子 衍射电子 俄歇电 子谱仪 透射 电镜 2 5.1 . 物质对入射电子的散射 ? 散射定义： 当一束聚焦电子沿一定方向射到样品 上时，在样品物质原子的库仑电场作用下，入射 电子方向将发生改变，称为散射。 ? ? 1. 散射类型 ①弹性散射改变轨道，能量不变 ? ②非弹性散射改变轨道，能量改变 3 5.1.1 原子核对电子的弹性散射 ? 当入射电子从距原子核 用，入射电子偏离入射方向。此即原子核对电子的弹性散射 r n 处经过时，由于原子核的正电荷的吸引作 ? 电子波通过原子不改变波矢长度 （散射） ( 能量大小 ) ，但可能改变波矢方向 4 ? ? ? 散射角 θ n 与瞄准距离 r n 、核电荷数 Z 及入射电子的能 量 E 0 之间的关系为： 可见，原子序数越大，电子能量越小，距核越近，则散 射角越大。 除原子核对电子的散射外，核外电子带负电荷，对原子核的 弹性散射有屏蔽作用。 特点： 由于原子对电子的散射比对 X 射线的散射强得多，因 此，电子在物质内部的穿透深度要比 X 射线小得多。 作用： 原子核对电