气体动力05-01-特气系统的介绍及应用.pptVIP

特殊气体（SPECIALTY GAS） 吕广浩 目 录 1、特殊气体（SPECIALTY GAS）分类 2、特殊气体特性 3、供应系统简介 划 1、特殊气体（SPECIALTY GAS）分类 半导体厂所使用的特殊气体种类繁多，约有四五十种，依危险性可区分为以下数类： 　　　　　　* 易燃性气体 Flammable Gas 　　　　 * 毒性气体 Toxic Gas * 腐蚀性气体 Corrosive Gas * 低压性/保温气体 Heat Gas 　　 * 惰性气体 Inert Gas 划 2、特殊气体特性 　特种气体（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等# e2 O ~9 _( H7 I 特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半导体气体分类如下：+ ]8 p: E- p. C1 g Z9 `) C