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1. 课程设计目的与任务……………………………………………                                         4 
2. 课程设计的基本内容……………………………………………                                         4 
    2.1 npn  双极型晶体管的设计………………………………………                                  4 
    2.2  课程设计的要求与数据…………………………………………                                    4 
3. 课程设计原理……………………………………………………                                         4 
    3.1 晶体管设计的一般步骤…………………………………………5 
    3.2 晶体管设计的基本原则…………………………………………5 
4. 晶体管工艺参数设计……………………………………………6 
    4.1 晶体管的纵向结构参数计……………………………………6 
     4.1.1  集电区杂质浓度的确定………………………………………………                               6 
     4.1.2  基区及发射区杂质浓度………………………………………………                               7 
     4.1.3  各区少子迁移率及扩散系数的确定…………………………………                               7 
     4.1.4  各区少子扩散长度的计算……………………………………………                               8 
     4.1.5  集电区厚度的选择……………………………………………………                               9 
      4.1.6 基区宽度的计算………………………………………………………                              9 
     4.1.7  扩散结深     ……………………………………………………………                         12 
      4.1.8 杂质表面浓度       ………………………………………………………                       13 
     4.1.9  芯片厚度和质量……………………………………………………                             13 
    4.2  晶体管的横向设计……………………………………………                                   13 
      4 .2 .1  晶体管横向结构参数的选择……………………………………                           13 
    4.3 工艺参数计算…………………………………………………                                    14 
              4.3.1 晶体管工艺概述……………………………………………………                             14 
              4.3.2 基区硼预扩时间……………………………………………………                             15 
              4.3.3 基级氧化层厚度……………………………………………………                             16 
              4.3.4 基区硼再扩散时间计算……………………………………………                             16 
              4.3.5 发射区预扩散时间…………………………………………………                             17 
              4.3.6 发射区再扩散的时间………………………………………………                             17 
              4.3.7 基区氧化时间………………………………………………………                             18 
       
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