0.18um3d对称微型电感testkeydesign重点.docxVIP

0.18um 3D 對稱微型電感 Testkey Design 0.18um 3D Symmetrical Min iatured In ductors Testkey Desig n IC 編號：U18-92F-05t 指導教授：林育德交通大學電信研究所教授 電話：02-5712121-54530 E-mail: ydlin@cc.nctu.edu.tw 設計者：許伯驊碩士班研究生 電話：03-5712121-54593 E-mail: diskman.cm91g@nctu.edu.tw 、模型建立與量測結果比較 2.2e-9使用的電感等效模型示於下圖，量測 結果的模型的粹取列於表二，所使用的軟 體為ADS。PortgCox1 丄Cs-hi—n-nrrT^-wv^—Lt-Ls Rs Cox2d Port2Csub丈 Rsub RsuU 2.2e-9 使用的電感等效模型示於下圖，量測 結果的模型的粹取列於表二，所使用的軟 體為ADS。 Portg Cox1 丄 Cs -hi—n -nrrT^-wv^—Lt- Ls Rs Cox2 d Port2 Csub 丈 Rsub RsuU Csut2 2.0e-9 1.8e-9 1.6e-9 1.4e-9 1.2e-9 1.0e-9 8.0e-10 Modeling Measurement FREQ(GHz) sym_od210um_3m3t 為了證明每個建立之電感模型完全符合量 測結果特性，沒有任何灌水嫌疑，茲特舉 數例做以下比較，至少在合理使用頻率範 圍內模型是相當準確的： sym_od210um_3m2t 1 FREQ(GHz) - Modeling HiiiF- Measurement FREQ(GHz) Modeling ■ - - Measurement 1 FREQ(GHz) Modeling ■?■wi Measurement sym_od210um_3m4t 16 . Modeling Measurement FREQ(GHz) sym_od160um_3d4t sym_od160um_3d4t ! FREQ(GHz) _ Modeling i Measurement 1e-8 8e-9 6e-9 4e-9 2e-9 0 -2e-9 -4e-9 -6e-9 -8e-9 FREQ(GHz) Modeling . ■ . Measurement FREQ(GHz) Modeling - -Measurement sym_od180um_3d3t_nol 3e-8 2e-8 1e-8 0 -1e-8 -2e-8 Modeling Measurement FREQ(GHz) FREQ(GHz) Modeling .. Measurement 、列表整理 * sym_ od210um_ 3m2t - sym_ od210um_ 3m3t sym_ od210um_ 3m4t Cs(pF) 0.0008 0.0183 0.0022 Rs(Ohm) 1.2472 2.2744 3.75276 Ls( nH) 1.06 1.9 2.71 Cox1(pF) 0.03608 0.108 0.06048 Cox2(pF) 0.03 0.1 0.06 Csubl(pF) 0.00996 0.141 0 Csub2(pF) 0.00996 0.14 0 Rsubl(Ohm) 2120 1413 38.26 Rsub2(Ohm) 2000 1441 40 sym_ od180um_ 3d3t_nol sym_ od160um_ 3d4t 一 Cs(pF): 0 P 0.0044 Rs(Ohm) 4.5 6.17746 Ls( nH) 2.394 3.845 Cox1(pF) 0.0413 0.064 Cox2(pF) 1 0.05 r 0.041 Csub1(pF) 0.09 0.108 Csub2(pF) 0.1 r 0.095 : Rsub1(Ohm) 374 612 Rsub2(Ohm) 370 600