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具有模拟信号输出的单轴加速度计及其应用 导语：?ADXL190是美国ADI公司推出的低功耗、低成本、功能完善的加速度测量系统。 摘　要：ADXL190是美国ADI公司推出的低功耗、低成本、功能完善的加速度测量系统。它可测量正负加速度，其最大测量范围为±100g，因而适合振动和冲击的测量。本文详细介绍ADXL190的工作原理、定标、ESD保护装置、0g点偏移量的调节方法及其应用。　　关键词：传感器；模拟信号输出；加速度计；应用1概述　　ADXL190型加速度计是集成在单芯片上的完整的加速度测量系统。它由多晶硅表面微机械敏感元件和信号调理电路组成，可以测量正负加速度。　　ADXL190具有如下特点：是集单轴加速度传感器于一体的单片集成电路加速度计；分辨率可达4010－3g；低功耗（2mA）；带宽为400Hz；＋5V单电源供电；可承受2000g的振动和冲击。　　ADXL190的主要应用领域是振动和冲击测量；机械装置安全性检测；车辆记录器；在军事上用来防护、提供安全检测。2工作原理　　ADXL190将一个以多晶硅为表面的微机械传感器和信号环路电路集成在一个芯片上，是一个开环加速度测量机构。它可测量正负加速度，其最大测量范围为±100g，因而适合振动和冲击的测量。图1是ADXL190的功能框图。　　ADXL190的典型噪声值为4×10－3g/（Hz）1/2，检测加速度信号可低于40×10－3g。它既可测量动态加速度（如典型振动和冲击），又可测量静态加速度（如重力加速度和惯性）。在ADXL190内有一个二极Bessel开关电容滤波器，Bessel滤波器有时也称为线性相位滤波器，其一阶响应有最小的过调量和最平坦的群延时，在出厂时，将该滤波器－3dB处的频率预设为400Hz。滤波器结构完整，不需要外围元件。　　该产品内置自检部件，具有机械结构和电子电路双重特性，当它的自检引脚加上高电平数字信号而被触发时，静电力加在横梁上，相当于约满量程加速度输入的20％，从而在输出引脚上产生一个成比例的电压变化量，只需要一个退耦电容器就可以实现自检功能。　　用来驱动传感器和将电容值变化转化为电压值变化的电路都集成在同一芯片上，除了标准的供电电源退耦装置外，不需要任何外部元件。对于供电电压来说，灵敏度（S）和加速度0点值都是按比率计算的，在供电电压发生变化时，跟随在加速度计（如模数转换器等）后的输出也会跟着加速度计的变化而变化。输出电压Vout是加速度计输入量（a）和电源电压（Vs）综合作用的结果，其计算公式为ADXL190采用密封的14引脚表面安装式封装，工作温度范围为－40℃～105℃。图2是ADXL190的引脚排列图。3应用技术3．1引脚功能及连接方法　　Vs（引脚13，14）是电压输入端，它们直接与电源正极相连，供电范围为－0.3V～＋7.0V。　　COMMON（引脚7）是接地端，直接与电源负极相连。在Vs端与COM端之间应该接一个退耦电容器，容值为0.1μF，形成电源退耦电路。　　Vout（引脚10）是电压信号输出端，即传感器的输出端口。　　SELF-TEST（引脚9）是自检测试端，当它接Vs时，静电力加在横梁上，相当于约满量程加速度输入的20％，从而在输出引脚上产生一个成比例的电压变化量。　　TESTPOINT（引脚5）是检测端，不与任何器件相连。　　ZEROgADJUST（引脚8）是加速度0g的校准端点。　　NC（引脚1，2，3，4，6，11，12）是空引脚，不接。3．2ADXL190的定标　　图3示出ADXL190对地球重力场的反应，其中，引脚10输出的电压是额定值。使用前，ADXL190应定标。ADXL190的特殊设计使用户可方便、及时地进行定标。校准系数可存储在EEPR0M或动态存储器中。3.30g点偏移量的调节方法　　在有些应用中，用户可能有不对称输入或者需要调节0g标准输出量以获得最大的动态范围。0g标准的调节是通过在器件的0g调节引脚加上一个电压来实现的，如图4所示。　　由图4可知，ADXL190内部的5kΩ和25kΩ两个电阻器构成一个比例因子为6的分压器，使得ADXL190的0g点调节引脚与Vs/2之间的电压差减小。在输出端获得3倍的增益时，对于0g点调节端获得0.5倍的增益。需要注意的是，电阻分压的比例对于所有器件都是一致的。但是，其绝对值存在±30％的公差。0g点调节电压可以通过多种方式来设置，在图4中使用的是一个电位计，另外，还可以用一个脉宽调制信号或简单的三态输出来设置。最简单的方法是在0g点调节引脚和Vs（或地）之间接一个电阻器，这样，输出偏移量为　　式中，R的单位为kΩ，并与Vs连接。或者为　　式中，R的单位为kΩ，并与地相接。