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工业与传感器 IC解决方案 您的半导体解决方案资源 第9卷 ? 第 4期 目录 低功耗集成式 MEMS器件优化工业应用的嵌入式冲击与振动检测 集成式 MEMS器件 1 许多工业应用都普遍需要精确检测并记录运动 经过适当调整的 MEMS加速度计既可以 ADC降低监控系统的复杂度 2 用来检测轻微的振动 也可以用来检测过度振动以及冲击事件 这些器件具有高功效 数字电阻节省空间 2 比 小尺寸的特点