第一章薄膜技术基础.pptVIP

薄膜技术与薄膜材料;主讲教师：张显 E-mail： 电子材料与元器件教研室;绪论;二、要求 了解并掌握薄膜材料最基本的制备技术和表征方法，最基本的薄膜生长理论和几个典型的应用； 多思考，多想象，多实践； 有一定的作业任务； 考查: 考试与读书报告 三、参考书 1 郑传涛，薄膜材料与薄膜技术，化学工业出版社，2004。 2 顾培夫，薄膜技术，浙江大学出版社，1990 。 3 杨邦朝、王文生，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，1994 。 4 王力衡、黄运添、郑海涛，薄膜技术，清华大学出版社，1991 。 ;下载课件：请登录 校园网教务系统，在其 中寻找该门课程;第1章 薄膜制备的真空技术基础;1、气体分子的运动速度及其分布 气体分子运动论认为： 气体的大量分子每时每刻都处于无规则的热运动之中，其平均速度取决于气体所具有的温度；同时，在气体分子之间以及气体分子与容器壁之间，发生着不断的碰撞过程，这种碰撞过程的结果之一是使气体分子的速度服从一定的统计分布。气体分子的运动速度υ服从麦克斯韦尔-玻耳兹曼（Maxwell-Boltzmann）分布：