MEMS技术的发展和MEMS传感器.docxVIP

作业2:叙述MEMS技术的最新发展并介绍几种 MEMS传感器 MEMS(Micro-Electro-Mecha nical Systems 是微机电系统的缩写。 MEMS 是美 国的叫法,在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，MEMS就是在一个硅基 板上 集成了机械和电子元器件的微小机构。 在代工厂中，通过对电子部分使用半 导体工 艺和对机械部分使用微机械工艺将其或者直接蚀刻到一片晶圆中，或者增加新的结 构层来制作MEMS产品。作为纳米科技的一个分支，MEMS被称为电子产品设计 中的明星”目前MEMS加工技术又被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领 域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几 部分,它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发 展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业 ，采用MEMS技术制作 的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电 子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触 到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。 MEMS技术正发展成为一个巨大的 产业,就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样 ，MEMS 也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响。目前 MEMS市 场的主导产品为压力传感器、 加速度计、微陀螺仪、 墨水喷咀和硬盘驱 动头等。 大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长 之势,年平均 增加率约为18%，因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导 体物理等学科的 发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。 MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀 刻 硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。 由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响 其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。 后来的电路则 包括电 容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。 第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI 公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其 道。 第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而 成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS 一个增长强劲的领域。 目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、 测试 仪器等新领域扩张。 推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元 件、 在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的’片上实验室’生化药品开发 系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。 MEMS传感器已经存在几十年了，并成功的渗透到一些大规模应用的市场，如医 疗压力传感器和安全汽囊加速度计等。尽管取得了这些成功 ，但MEMS传感器很大 程度上还是局限于这些零散的应用。受到汽车电子和消费类电子市场的驱动，这种 状况在下一个十年中有望得到改变。 MEMS传感器正在当今的两大热门产品中起到不可或缺的作用。 使用测量物 理运动从而提供运动感知能力的 MEMS加速度计,任天堂公司的 Wii无线游戏机 允许使用者通过运动和点击互相沟通和在屏幕上处理一些需求，其原理是将运动 （例如挥舞胳膊模仿网球球拍的运动转化为屏幕上的游戏行为。在 2006年5 月，任天堂和ADI宣布将ADI的ADXL330 iMEMS加速度计整合到任天堂的 Wii游戏控制台中。加速度计帮助任天堂把视频游戏提升到一个新的水平。 这种 产品的全球销售量预计将在2007年底前达到一千万台，任天堂目前正在开足马力以 满足汹涌而来的需求。 MEMS加速度计一一数年来被用于汽车中起到模拟安全气囊展开动作的传感 器的作用 同样被用于苹果公司的iPhone中，通过对旋转时运动的感知，iPhone 可以自动地改变其显示格式，以便消费者能够以合适的水平和垂直视角看到完整的 页面或者数字图片。当然iPho ne并不是第一个采用加速度计来提升用 户体验的手 机但是，正是iPh one把MEMS带到了大众消费品中。 然而,MEMS传感器在诸如医疗保健、 航空航天和工业等市场也找到了用武 之地。根据预测,下一个十年的关键推动力正是汽车和消费类电子市场。 当供应 商努力取得在消费类电子市场中的主导地位时，一场激烈的争夺战已经在进行之 中 了。 汽车市场 MEMS传感器在汽车工业中的主要应用是压力和惯性，这两个领域预期在未来 的十年内都会蓬勃成长。 胎压传感器,美国国会在TREAD Act法案的引言中强制命令为所有的交通车 辆安装压力传感器，要求传感器在