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Document number：NOCG-YUNOO-BUYTT-UU986-1986UT Document number：NOCG-YUNOO-BUYTT-UU986-1986UT 单晶炉操作规程 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第1页共35页 生效日期：200 一、目的： 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常进行，特制订本规程。 范围： 适用于FT-CZ2008型单晶炉的操作。 图1 FT-CZ2008型单晶炉图2操作柜 依据： 依据为直拉法生长硅单晶的工艺和FT-CZ2008型单晶炉的性能。 批准 审核 编制 修改履历 页码 内容 状态 备注 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号：Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第2页共35页 生效日期：200 权责单位： 本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。 作业流程： 作业内容： 1、作业准备 、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 、开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无异常后方能开炉。 、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 、准备好钳子、扳手和各