多晶硅生产工艺流程[实用].docxVIP

20XX 流程汇编 Process compilation 多晶硅出产工艺流程(简介) -------------------------来自于网络搜集 多晶硅出产工艺流程,多晶硅最首要的工艺包含，三氯氢硅组成、四氯化硅的热氢化（有的选用氯氢化），精馏，复原，尾气收回，还有一些小的主项，制氢、氯化氢组成、废气废液的处理、硅棒的收拾等等。首要反响包含：Si+HCl---SiHCl3+H2（三氯氢硅组成）;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl（热氢化）;SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si（复原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，因为各多晶硅出产工厂所用主辅质料不尽相同，因而出产工艺技能不同；从而对应的多晶硅产品技能经济指标、产品质量指标、用处、产品检测办法、进程安全等方面也存在差异，各有技能特色和技能秘密，总的来说，现在国际上多晶硅出产首要的传统工艺有：改进西门子法、硅烷法和流化床法。改进西门子法是现在干流的出产办法，选用此办法出产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技能的中心工艺只是把握在美、德、日等7家首要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%，它们构成的企业联盟实施技能封闭，禁止技能转让。短期内产业化技能独占封闭的局势不会改动。 西门子改进法出产工艺如下： 这种办法的长处是节能降耗显着、本钱低、质量好、选用综合利用技能，对环境不产生污染，具有显着的竞赛优势。改进西门子工艺法出产多晶硅所用设备首要有：氯化氢组成炉，三氯氢硅沸腾床加压组成炉，三氯氢硅水解凝胶处理体系，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯体系，硅芯炉，节电复原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、枯燥、包装体系设备，复原尾气干法收回设备；其他包含剖析、检测仪器，操控外表，热能转化站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。 （1）石英砂在电弧炉中锻炼提纯到98%并生成工业硅，其化学反响SiO2+C→Si+CO2↑ （2）为了满意高纯度的需求，有必要进一步提纯。把工业硅破坏并用无水氯化氢(HCl)与之反响在一个流化床反响器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。其化学反响Si+HCl→SiHCl3+H2↑反响温度为300度，该反响是放热的。一起构成气态混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。 （3）第二过程中产生的气态混合物还需求进一步提纯，需求分化:过滤硅粉，冷凝SiНС13,SiC14，而气态Н2,НС1返回到反响中或排放到大气中。然后分化冷凝物SiНС13,SiC14，净化三氯氢硅（多级精馏）。 （4）净化后的三氯氢硅选用高温复原工艺，以高纯的SiHCl3在H2气氛中复原堆积而生成多晶硅。其化学反响SiHCl3+H2→Si+HCl。 多晶硅的反响容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径5-10毫米，长度1.5-2米，数量80根），在1050-1100度在棒上成长多晶硅，直径可到达150-200毫米。 这样大约三分之一的三氯氢硅产生反响，并生成多晶硅。剩下部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反响容器中别离。这些混合物进行低温别离，或再利用，或返回到整个反响中。气态混合物的别离是杂乱的、耗能量大的，从某种程度上决议了多晶硅的本钱和该3工艺的竞赛力