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无尘车间等级规范
无尘车间洁净度等级规范ISO14644根据悬浮粒子浓度这个仅有目标来区分洁净室(区)及相关受控环境中空气无尘车间洁净度的等级, 而且仅考虑粒径限值(低限)0.1um~0.5um范围内累计散布的粒子群。根据粒子径, 能够区分为惯例粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净 度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO Class7
352,000
83,200
2,930
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于触及丈量进程的不确认性, 故要求用不超越三个有用的浓度数字来确认等级水平
空气无尘车间洁净度分级规范:ISO14644-1(世界规范)
空气无尘车间洁净度分级规范:GB/T16292-1996(我国规范)
粒径、数值 无尘车间洁净度等级
尘土最大答应数/立方米
微生物做大答应数
≥0.5um
≥5.0um
游浮菌/立方米
沉降菌/皿
100级
3,500
0
5
1
1,000级
35,000
200
50
2
10,000级
350,000
2,000
100
3
100,000级
3,500,000
20,000
500
10
300,000级
10,500,000
60,000
15
美国联邦规范(USA Federal Standard)空气中微粒的洁净等级对照空气微粒洁净等级 (每立方米, 每立方英尺)微粒的最大浓度限值
ISO14644-1
FED STD 209E
CLASS
Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size
ISO Class
English
Metric
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
0.5um
5um
m3
m3
m3
ft3
m3
1
ISO1
10
2
2
ISO2
100
26
10
4
3
1
M1.5
1SO3
1,000
265
106
35
4
10
M2.5
ISO4
10,000
2,650
1,060
10
353
5(百级)
100
M3.5
ISO5
100,000
26,500
10,600
100
3,530
29
6(千级)
1,000
M4.5
ISO6
1,000,000
265,000
106,000
1000
35,300
293
7(万级)
10,000
M5.5
ISO7
10000
353,000
2,930
8(十万级)
100,000
M6.5
ISO8
100000
3,530,000
29,300
9
ISO9
1000000
35,300,000
293,000
我国药品出产洁净室(区)的空气无尘车间洁净度规范
无尘车间洁净度等级
尘土最答应数/立方米
微生物最大答应数
≥0.5um
≥5um
浮游菌个/立方米
沉降菌个/皿.30min
100
3500
0
5
1
10000
350,000
2,000
100
3
100000
3,500,000
20,000
500
10
300000
10,500,000
61,800
NA
15
国家药品监督办理局1999年8月1日发布施行
根据≥0.5um粒径的各国无尘车间洁净度等级近似对照表
个/M3≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992)
US209D(1988)
EECGGMP(1989)
FRANCEAFNOR(1981)
GERMANYVDI 2083(199
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