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2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 一、电子背散射衍射技术原理 图14-9所示为入射电子在晶面的两侧发生衍射示意图, 在(hkl)晶面两侧形成两个对称的衍射圆锥 图14-19 入射电子在晶面的两侧发生衍射示意图 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 一、电子背散射衍射技术原理 如图14-20,两个衍射圆锥与CCD相机的荧光屏的交线为 一对双曲线。但由于? 角很小，衍射圆锥面接近平面，故实 际上接近一对平行线，菊池线对(带)中线可认为是衍射晶面与 荧光屏的交线 图14-20 入射电子在晶面的两侧发生衍射示意图 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 一、电子背散射衍射技术原理 图14-21 所示为经过计算机标定的典型的Al的菊池花样。 分析时,通常将样品倾斜70?以提高信号强度，CCD探头便可 采集到来自样品表面几十纳米薄层的衍射花样 图14-21 Al的典型菊池带图谱 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 一、电子背散射衍射技术原理 电子背散射衍射花样由宽度不等、纵横交错的多条菊池 带组成。菊池带的交点称为菊池极,相交于同一菊池极的菊 池带对应的晶面构成一个晶带，菊池极所代表的方向为此晶 带各晶面的共有方向，即晶带轴 菊池带宽度w 与相应衍射晶面间距d 的关系为 w = R? (14-20) ? = 2dsin? (14-21) 式中， R为荧光屏上菊池带与样品上电子束入射点之间的距 离; ? 为入射电子束的波长， 因在样品表层几十纳米的范围 内大部分非弹性散射电子的波长变化非常小 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 二、衍射花样标定原理 将菊池花样通过Hough变换, 根据菊池带的位置， 与标 准花样对比标定个菊池极指数， 以上过程由计算机自动进行 如图14-22，由原点向直线作垂线，交点坐标为(x, y)，若垂线 长为?，其与x 轴间夹角? ，则有如下关系 ? = x cos? + y sin? (14-22) 图14-22 Hough变换原理 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 二、衍射花样标定原理 如图14-23所示, Hough变换可将图像空间的直线变换为 Hough空间的点。直线上A、B、C、D四点，对应4条Hough 正弦曲线， 这4条Hough正弦曲线的交点( ? ,? )，即为该直线 对应于Hough空间点的位置 图14-23 Hough变换的线与点的转换 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 二、衍射花样标定原理 图14-24所示为Hough变换模拟示意图。通过Hough变换 后,菊池带形成类似蝴蝶结的一个点 Hough变换的基本原理在于利用点与线的对偶性，将原始图 像空间的曲线变换为参数空间的点 图14-24 Hough变换模拟示意图 2021/3/27 * 第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定 二、衍射花样标定原理 图14-25所示为花样自动标定时的Hough变换图像 图14-25 Hough变换实例 2021/3/27 * 第五节 电子背散射衍射技术成像及分析 一、相机操作 开启相机控制窗口, 根据分析需要，合理 选择和设定相机参数 在满足花样清晰度的 前提下，尽可能缩短 花样采集时间，以提 高扫描速度 2?2 4?4 8?8 相机参数选择及对花样质量的影响 2021/3/27 * 第五节 电子背散射衍射技术成像及分析 一、相机操作 调节增益或曝光时间使信号水平为最佳状态,见图14-29 确定信号水平后，再进行背底扣出， 以改善花样的衬度和清晰度，从而提