半导体制造工艺晶体的生长.pdfVIP

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  • 2021-04-10 发布于重庆
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半导体器件与工艺 1 一、衬底材料的类型 1. 元素半导体 Si、Ge…. 2. 化合物半导体GaAs、SiC 、GaN… 2 二、对衬底材料的要求 •导电类型:N型与P型都易制备;

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