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- 2021-04-12 发布于河北
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IC 生产流程简介
你想知道精密的 IC芯片是如何从粗糙的硅矿石中诞生的吗 ? 本节将为您揭开 IC制造
的神秘面纱。
你知道吗 ? 制造一块 IC芯片一般需要 400到500道工序。可是概括起来说 , 它一般分为
两大部分 : 前道工序 ( front-end production) 和后道工序 ( back-end production) 。
左图为 : 典型的三阱结构
三阱工艺中浅沟道隔离
技术
前道工序
该过程包括 :
将粗糙的硅矿石转变成高纯度的单晶硅。
wafer 上制造各种 IC元件。测试 wafer 上的 IC芯片
后道工序
该过程包括 :
wafer 划片 ( 进行切割 )
IC 芯片进行封装和测试
在制造过程中有数道测试步骤。其中 , 在前道工序中对 IC进行的测试 , 我们把它叫做
wafer 测试。在后道工序过程中对封装后的 IC芯片进行的测试 , 我们称之为封装测试。在
有些情况下 , wafer 测试也被放在后道工序中 , 但在本文里 , 我们把 wafer 测试归为前道测
试。
工序流程示意图
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硅棒的拉伸
将多晶硅熔解在石英炉中 , 然后依靠一根
石英棒慢慢的拉出纯净的单晶硅棒。
切割单晶硅棒
用金刚石刀把单晶硅棒切成一定的
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