电子显微镜智的显微结构表征.ppt

3 位错引起的衬度 这样,在偏离位错线实际位置的左侧,将产生位错线的象(暗场中为亮线,明场相反).不难理解,如果衍射晶面的原始偏离参量S00,则位错线的象将出现在其实际位置的另一侧。这一结论已由穿过弯曲消光条纹(其两侧S0符号相反)的位错线相互错开某个距离得到证实。位错线像总是出现在它的实际位置的一侧或另一侧,说明其衬度本质上是由位错附近的点阵畸变所产生的,叫做“应变场衬度”. 而且,由于附近的偏差S′随离开位错中心的距离而逐渐变化,使位错线像总是有一定的宽度(一般在30~100?左右)。尽管严格来说,位错是一条几何意义上的线,但用来观察位错的电子显微镜却并不必须具有极高的分辨本领。通常,位错线像偏离实际位置的距离也与像的宽度在同一数量级范围内。对于位错衬度的上述特征,运动学理论给出了很好的定性解释。 图3.4.23　位错引起的衬度 3.4.3 扫描电镜的图象衬度原理 扫描电镜放大倍率从几十放大到几十万倍，连续可调。分辨率高，目前用W灯丝的SEM，分辨率已达到3nm-6nm, 场发射源SEM分辨率可达到1nm。景深大，图像立体感强。保真度好，样品通常不需要作任何处理即可以直接进行观察，所以不会由于制样原因而产生假象，这对断口的失效分析特别重要。样品制备简单。 1 扫描电镜的图象信号 一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入