第二篇透射电子显微分析.pptxVIP

第九章 透射电子显微分析本章主要内容9.1 透射电镜的结构及其成像原理9.2 电子衍射9.3 透射电子显微镜成像原理与图象解释9.4 透射电镜样品的制备方法9.1 透射电镜的结构及其成像原理 透射电镜的结构JEM-2010F透射电镜电子镜光源聚光镜聚光镜试样试样物镜物镜中间象中间象投影镜目镜观察屏毛玻璃光学显微镜和电镜光路图比较 电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大部分组成。 电子光学系统 从结构上看，透射电镜和光学透镜非常类似，根据其功能的不同可分为以下几部分： 1）照明部分 （1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 （3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。（4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。阴极（接负高压）控制极（比阴极负100~1000伏）阳极电子束聚光镜试样照明部分示意图2）成像放大部分 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 （1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通