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6.2 扫描电子显微镜 p321;What is SEM?;? 扫描电子显微镜与其他设备的组合以实现多种分析功能。在实际分析工作中,往往在获得形貌放大像后 ,希望能在同一台仪器上进行原位化学成分或晶体结构分析 ,提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料 ,以便能够更全面、客观地进行判断分析。。 　　目前扫描电子显微镜的最主要组合分析功能有:X射线显微分析系统 (即能谱仪 , EDS) ,主要用于元素的定性和定量分析 ,并可分析样品微区的化学成分等信息;电子背散射系统EBSD (即结晶学分析系统 ) ,主要用于晶体和矿物的研究。随着现代技术的发展 ,其他一些扫描电子显微镜组合分析功能也相继出现 , 例如显微热台和冷台系统 ,主要用于观察和分析材料在加热和冷冻过程中微观结构上的变化;拉伸台系统 ,主要用于观察和分析材料在受力过程中所发生的微观结构变化。扫描电子显微镜与其他设备???合而具有的新型分析功能为新材料、新工艺的探索和研究起到重要作用。;6.2.5. 扫描电镜应用实例p334;ZnO纳米线的二次电子图像 ;材料断口的分析 　　扫描电镜的另一个重要特点是景深大，图象富立体感。扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图象景深大，故所得扫描电子象富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜多得多的信息，这个特点对使用者很有价值。扫描电镜所显示断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有不可替代的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。 ;1018号钢在不同温度下的断口形貌;扫描电子显微镜可以清楚地反映和记录原始材料及其制品的显微形貌、孔隙大小、晶界和团聚程度等 微观特征 ,是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法 ,样品无需制备 ,只需直接放入样品室内即可放大观察;同时扫描电子显微镜可以实现试样从低倍到高倍的定位分析 ,在样品室中的试样不仅可以沿三维空间移动 ,还能够根据观察需要进行空间转动 ,以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析。扫描电子显微镜拍出的图像真实、清晰 ,并富有立体感 ;? ;观察厚试样 　　其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间，但在对厚块试样的观察进行比较时，因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法，而复膜的分辨率通常只能达到10nm，且观察的不是试样本身。因此，用扫描电镜观察厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。 ;横截面形貌 内部结构 粉末 动态和其他实验 ;观察试样的各个区域的细节 　　试样在样品室中可动的范围非常大，其他方式显微镜的工作距离通常只有2-3mm，故实际上只许可试样在两度空间内运动，但在扫描电镜中则不同。由于工作距离大（可大于20mm）。焦深大（比透射电子显微镜大10倍）。样品室的空间也大。因此，可以让试样在三度空间内有6个自由度运动（即三度空间平移、三度空间旋转）。且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。 在大视场、低放大倍数下观察样品 　　用扫描电镜观察试样的视场大。在扫描电镜中，能同时观察试样的视场范围F由下式来确定：F=L/M式中 F——视场范围；M——观察时的放大倍数；L——显象管的荧光屏尺寸。若扫描电镜采用30cm（12英寸）的显象管，放大倍数15倍时，其视场范围可达20mm，大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如刑事侦察和考古。 进行从高倍到低倍的连续观察 　　放大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。扫描电镜的放大倍数范围很宽（从5到20万倍连续可调），且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察，不用重新聚焦，这对进行事故分析特别方便。 ;History of SEM;History the microscope;OM SEM;Optical Microscope VS SEM;Pictures of SEM;6.2.1. 扫描电镜的工作原理p322;扫描电镜原理示意图;SEM中的三种主要信号;强立体感;景深 ;高分辨率;分辨率p329;放大倍数 　　扫描电镜的放大倍数M定义为：在显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和在镜筒中电子束针在试样上最大扫描距离的比值　M=l/L式中l指荧光屏长度；L是指电子束在试样上扫过的长度。这个比值是通过调节扫描线圈上的电流来改变的。 ;Pictures of SEM; 试样制备简单。 对试样的电子损伤小。 保真度高 可调节 得到的信息多 应用范围广 ;6.2.3. 扫描电子显微镜的构造;电子光学系统;检测系统;真空系统和电源系统;显示系统;6.2.4衬度扫描电镜衬度像;二次电子产额