特种加工第六章.ppt

;;;（一）电子枪 发射阴极（钨、钽）、控制栅极、加速阳极 电磁透镜 ;（二）真空系统 　　电子高速运动　金属蒸汽 机械旋转泵 油扩散泵或涡轮分子泵 ;（三）控制系统和电源 　　　束流聚焦控制　为了提高电子束的能量密度，使电子束聚焦成很小的束斑，它基本上决定着加工点的孔径或缝宽。 利用高压静电场 电磁透镜　电磁线圈　轴向磁场　端面径向磁场;;束流位置控制 电子束方向　 　　　电磁偏转 　　　偏转电压或电流　程序控制　 　　　电子束焦点运动轨迹 束流强度控制 ;工作台位移控制　电子束偏转距离只能在数毫米之内，过大将增加像差和影响线性 电子束加工装置对电源电压的稳定性要求较高，常用稳压设备，这是因为电子束聚焦以及阴极的发射强度与电压波动有密切关系。 ;三、电子束加工的应用 （一）高速打孔 （二）加工型孔及特殊表面 （三）刻蚀 （四）焊接 （五）热处理 （六）光刻;;（一）高速打孔 最小直径可达0.003mm左右。发动机套上的冷却孔 机翼吸附屏上的孔 孔的密度和直径可以变化，孔数达数百万个。在0.1mm厚的不锈钢上加工直径为0.2mm的孔，每秒钟可达3000个。;在人造革、塑料上打大量微孔，将电子枪发射的片状电子束分成数百条小电子束同时打孔，每秒可打50000个，孔径120～40um可调。 电子束还能加工小深孔，如在叶片上打深度为5mm、直径0.4mm的孔，深径比大于10。 加工玻璃、陶瓷、宝石 温差 变形、破裂 用电阻炉或电子束进行预热。 ;（二）加工型孔及特殊表面 加工喷丝头异型孔;;切割种复杂型面 切口宽度３～６μｍ，边缘表面粗糙度0.5 μｍ 离心过滤机、造纸化工过滤设备钢板上的小锥孔 　防止堵塞　反冲清洗 燃烧室混气板及某些透平叶片上不同方向的斜孔 燃气轮机上的叶片、混气板和蜂房消音器上的孔;也可以加工弯孔和曲面;;;（三）刻蚀 在微电子器件生产中，为了制造多层固体组件，可利用电子束对陶瓷或半导体材料刻出许多微细沟槽和孔。还可在加工过程中对电阻值进行测量校准。 电子束刻蚀还可用于制版，在铜制印刷滚筒上按色调深浅刻出许多大小与深浅不一的沟槽或凹坑。;;（四）焊接 高能量密度的电子束 毛细管状的熔池，沿着焊缝与电子束做相对运动 能量密度高，焊接速度快，焊缝深而窄，焊件热影响区小，变形小。不用焊条，真空中进行，焊缝化学成分纯净，强度高于母材。;可焊接钽、铌、钼等难熔金属，也可焊接钛、锆、铀等活泼金属， 可焊接普通碳钢、不锈钢、合金钢、铜、铝，可焊接很薄和很厚的工件 可实现异种金属的焊接　如铜和不锈钢的焊接　钢和硬质合金的焊接　铬、镍和钼的焊接等。 热影响小、变形小，工件精加工后焊接，可将复杂的零件分成几个零件进行加工，单独使用最合适的材料，然后用电子束焊接到一起。;;（五）热处理 加热和冷却速度很快，奥氏体化时间很短，只有几分之一秒到千分之一秒，可得到奥氏体超细晶粒组织　高硬度 跟激光相比，热转换效率高，防止材料氧化，功率比激光功率大。 金属达到表面熔化，可在熔化区添加元素，使金属表面改性，形成新的合金层，获得更好的物理力学性能。 铸铁熔化处理　莱氏体组织　抗滑动磨损 铝、钛、镍　添加元素　　耐磨性能;（六）光刻 用低功率密度的电子束照射电致抗蚀剂，由于入射电子与高分子相碰撞，使分子的链被切断或重新聚合而引起分子量的变化，称为电子束曝光，留下潜像，然后显影、蒸镀、离子刻蚀，去掉抗蚀剂，留下图形。 可用于加工集成电路 精密印刷版等。;;第二节 离子束加工 一、离子束加工原理、分类和特点 二、离子束加工装置 三、离子束加工的应用;一、离子束加工原理、分类和特点 （一）离子束加工的原理和物理基础 （二）离子束加工分类 （三）离子束加工的特点;（一）离子束加工的原理和物理基础 离子带正电荷，质量比电子大成千上万倍，离子束比电子束具有更大的撞击动能，它是靠微观的机械撞击能量、而不是靠动能转化为热能来加工的。 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。;（二）离子束加工分类 离子刻蚀 离子溅射沉积 离子镀 离子注入;;;;;;（三）离子束加工的特点 （1）由于离子束可以通过电子光学系统进行聚焦扫描，离子束轰击材料是逐层去除原子，离子束流密度及离子能量可以精确控制，所以离子刻蚀可以达到纳米级的加工精度。离子镀膜可以控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度也可极精确的控制。因此，离子束加工是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代纳米加工技术的基础。;（2）由于离子束加工是在高真空中进行，所以污染少，特别适用用对易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料的加工。 （3）离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的。它是一种微观作