压力检测培训讲义.ppt

3.5 电容式压力传感器 5、运算放大器 将电容式传感器接入运算放大器中，作为电路的反馈元件构成的测量电路如图所示。 以Cx=εS/d 代入，可得： 上式表明，输出电压与d是线性关系。 3.5 电容式压力传感器 3.5.4 电容式压力传感器 1、电容式差压传感器 2、变面积式压力传感器 3、荷重传感器 3.6 霍尔式压力计 3.6.1 霍尔效应 霍尔元件的特性常用 灵敏度KH表示，即 此时 3.6 霍尔式压力计 3.6.2 霍尔式压力计工作原理 3.6 霍尔式压力计 3.6.3 霍尔式压力计的误差及补偿 霍尔式压力计的误差有两部分，一是弹性元件的变换误差；一是霍尔元件的变换误差。 1、不等位电势及补偿 不等位电势的产生有两个原因，如图所示。 3.6 霍尔式压力计 几种补偿电路 第3章 压力检测 在测量上所称的压力就是物理学中的压强，它是反映物质状态的一个参数；在工业自动化生产过程中是重要工艺参数之一。 本章简单介绍压力的概念及单位，重点讲解应变式压力计、压电式压力传感器、电容式压力传感器和霍尔式压力计等的测量原理及测压方法。 3.1 压力的概念及单位 1、压力的概念: 压力是垂直而均匀地作用在单位面积上的力。大小由受力面积和垂直作用力的大小两个因素决定。表达式为： 2、 压力的单位 （1）工程大气压 （2）标准大气压 （3）约定毫米汞柱 （4）约定毫米水柱 常用的几种压力单位与帕斯卡的换算关系见表3.1.1所示。 3.1 压力的概念及单位 3、压力的分类 1.绝对压力 2.环境大气压力 3.表压力 4.真空度 5.差 压 上述各种压力的相互关系见图。 3.2 应变式压力计 3.2.1 电阻应变效应 电阻丝在外力作用下发生机械形变时，其电阻值发生变化，称为电阻应变效应。 设有一根长度为L，截面积为S，电阻率为ρ的电阻丝，未受力时的电阻值为： 受力后： 3.2 应变式压力计 3.2.2 电阻应变片 1、金属电阻应变片 金属电阻应变片分为金属丝式和箔式，图所示为金属丝式和金属箔式电阻应变片。 常用的电阻应变丝的材料是康铜丝和镍铬合丝，用薄纸作为基底的应变片称为纸基应变片；用 有机聚合物作为基底的应变片称为胶基应变片。 3.2 应变式压力计 电阻应变片 1、应变丝 2、基底 3、引线 4、金属膜引线 3.2 应变式压力计 2、半导体应变片 半导体受力时，电阻率发生变化，电阻率随应力变化的关系称为半导体压阻效应。半导体应变片电阻 的变化主要是电阻率变化引起的，表示为 由于弹性系数E=σ/ε， 上式又可写为 为提高灵敏度半导体应变片还有制成栅形的。 3.2 应变式压力计 3.2.3 电阻应变片的粘贴及温度补偿 1、应变片的粘贴：粘贴工艺包括被测试件表面处理，贴片，质量检查，焊接引线以及防护与屏蔽等。 2、温度误差及其补偿 （1）温度误差 ：温度误差是指环境温度变化引起应变片电阻变化。原因有两方面：一方面是应变片电阻丝的温度系数，另一方面是电阻丝材料与试件材料的线膨胀系数不同。 （2）温度补偿 电桥补偿法如图。 3.2 应变式压力计 3.2.4 转换电路 当 RL=∞时，电桥输出电压为： 单臂电桥输出电压和电压灵敏度为 双臂电桥电路，一般接成差动电桥。其输出电压为 电桥四臂同时接入工作应变片，则构成全桥电路。其输出电压为 3.2 应变式压力计 3.2.5 应变式压力传感器 1、膜式应变传感器 图是一种简单的平膜压力传感器，应变片贴在膜片的内表面。膜片感受压力时产生应变，使应变片有一定的电阻输出。 3.2 应变式压力计 2、测力式应变传感器 右图为一种带水冷的测力计式压力传感器。 3、扩散硅型压力传感器 图(a)是一个杯型组合式测量元件 图(b)是膜片一个截面示意图 3.3 薄膜应变片