多晶硅洁净室施工工法.docxVIP

优秀文档 优秀文档 PAGE PAGE19 优秀文档 PAGE 四川新光硅业有限职责企业 多晶硅生产车间干净室开工工法 1．叙言 跟着电子、化工行业的飞迅发展，对产品纯度的要求日益提高，而生产、加工情况的干净度直接影响着产品的纯度。干净室从最初的生物医药行业逐步扩展至电子、化工行业。近几年，对产品纯度要求极高的多晶硅行业的发展与兴盛使得干净室更充足的使用于化工局限。我单位根据所承建的江苏中能硅业多晶硅一期、二期及三期近三万平方米干净室的开工经验，总结编定本工法。个中一期、二期干净室已查收、检测及格，加入使用，顺利产出及格的多晶硅，获取了优秀的社会和经济效益；三期干净室正在紧张、有序开工。《多晶硅生产车间干净室开工工法》被我企业评为2008年度开工工法一等奖。 2.特质 2．1干净室的建筑需要多个专业一起配合达成。土建专业要为建筑干净室供应及格的外面护构造。干净室的装修材料要求壁 板平整、接缝精密且平整世故，禁止有凸凹外型，阴阳角全部做 成R＞50mm的圆弧角；窗户应与墙面平齐，不应设置凸出墙面的踢脚；风口、灯具采用带密闭罩的净化灯吸顶安装；地上采用不产尘材料整体制造，且平整、世故、防静电。在干净室内明装的管道均应采用不锈钢管，其连结采用氩电连焊。 2．2采用本工法开工，能够确保干净室的开工质量，并可大大提高工效、减少材料耗损，变低开工本钱，获取更大的经济效 益。 页脚内容-0- 四