真空表面处理工艺用离子源Modbus 协议.pdfVIP

T/GVS XXX—2021 AA 附 录 A （资料性） Modbus协议 A.1 Modbus协议数据 Modbus协议数据见表1。 表A.1 Modbus协议数据表 功能码 指令含义 数据地址 数据长度 数据格式 单位 读取/写入离子源自动模式阳极电压 0001 2字节 xxx V 读取/写入离子源自动模式阳极电流 0002 2字节 xx.xx A 读取/写入离子源自动模式中和电流 0003 2字节 xx.xx A