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聚焦离子束系统操作要点及常见问题 聚焦离子束系统操作介绍 本章以 FEI Helios 600 为例介绍聚焦离子束系统的操作要点， Helios 600 为 扫描电镜和聚焦离子束结合的“双束系统” ，在实际使用中，在装入样品后首先 利用电子束观察， 并在样品上寻找到感兴趣的区域， 然后通过聚焦离子束对该区 域进行精确加工， 或配合特定的气体注入系统进行精确沉积或刻蚀， 另外结合能 谱可以获得样品成分方面的信息， 结合 EBSD可以得到样品晶体结构方面的信息， 结合纳米操纵仪可以对样品进行微纳尺度的操纵等。 本章首先给出 Helios 600双束系统的操作流程， 接下来按照操作顺序分节对 每一个操作环节中常见的问题进行具体介绍， 首先介绍各种不同类型的样品准备 的方法和应该注意的问题， 接着介绍用电子束成像的过程和技巧， 包括样品的寻 找，特征点的选择和图像质量的调整等， 然后介绍离子束加工和气体沉积的方法 和策略，最后介绍各种附件的功能原理和使用方法等。 FIB 操作流程 装样 1. 准备好样品后，按照桌上实验记录表上要求，认真检查实验前检查项 目和打开腔门前检查项目后点击 vent ，真空腔充氮气 2. 待真空腔图标变为灰色时，缓缓拉开腔门放置样品，并检查记录表上 放置样品检查项目； -6 3. 等待样品腔真空度＜ 9×10 mbar方可开始实验 ; 实验 1. SEM成像 a) 激活电子束窗口，点击 beam on 按钮，待 beam on 按钮变成黄色 后，根据材料选择合适的加速电压和束流值，点击暂停按钮，即 可得到 SEM图像； b) 低倍下按住鼠标中键拖动，改变 X、Y 坐标找到样品； c) 调整焦距，象散，明暗度，对比度等得到较好的图像； d) 在较高倍数下（ 2-3K ），在样品不同位置调整焦距，根据 WD确定 样品最高点，在样品最高点调焦清晰后点击 link Z to FWD 按钮； （注：此时 Z 值与 WD值统一） 2. 调整 EucentricHight 位置 a) 电子束 beam shift 清零，电子束图像打开状态，在 2-3K 放大倍 数下，在样品上找到一个特征点将其移至屏幕中央； （若屏幕中心 的十字没有显示， shift+F5 使其显示） b) 在样品台工具栏将 Z 设为 4.16mm，点击 goto ，升高样品台，在样 品台上升的过程中，如果系统提醒 relink ，则需要重新调整焦距 后，再点击 relink ，继续升高样品台至 4.16 ； c) 倾转样品台至 7°，激活 CCD窗口用鼠标中键拖动使特征点回到屏 幕中央； d) 样品台回到 0°，检查特征点是否回到屏幕中央，如果偏离 5-10 μm，则双击特征点回到屏幕中央，重复步骤 c)