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色散模式拟合问题 概要 ? 色散模式的分类说明 ? 色散模型的建立使用 色散模式分类 ? 包括 – Cauchy 模型 – Cauchy 指数模型 – Sellmeier 模型 – Lorentz 振子模型 – Kramers-Kronig 关系 – Forouhi-Bloomer 模型 – EMA 有效介质模型 Cauchy 模型 ? 对于大多数透明或弱吸收薄膜，采用 Cauchy 模型能得到较好的拟合结果， 如 SiO 2 、 Al 2 O 3 、 SiN 等。这一模型关系表示为： n ? A ? k ? D ? B ? 2 ? ? C ? 4 ? ? ? ? E F ? 2 ? 4 Cauchy 指数模型 ? 与 Cauchy 模型不同的是其吸收系数随频率指数变化，适用于碱土金属的 氟化物、氧化物和半导体（ Si ， GaAs ）等，表示式为： n ? A ? B ? 2 ? C ? 4 k ? ? e ? ( 12400 ( ? )) ? ? 1 1 ? 是吸收带边 ? 是振幅， ? 是指数， 式中， Sellmeier 模型 ? 很多光学材料的折射率由 Sellmeier 公式来描述，其表达式为 2 2 2 b ? b ? b ? n 2 ( ? ) ? 1 . 0 ? 2 1 ? 2 2 ? 2 3 ? ? c 1 ? ? c 2 ? ? c 3 Lorentz 振