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金属材料公司进料检查作业指导书
文件编号
SZ/GEN/QI-Q007 R00
版次
00
页码 PAGE 1 of NUMPAGES 3
标题:
进料检查作业指导书
1.0 目的
1.1 本文的目的是定义进料筛选程序和指南,以便最终产品符合质量和指定的要求。
2.0 范围
2.1 任何一批进料,包括靶材、残靶、MgF2原材料、SiO/SiO2和包材。
3.0 责任
3.1 QA人员或指定人员依据此程序负责对所有进料进行检查。
3.2 QA工程师负责对检查结果作最终核准。
4.0 进料检查
4.1 残靶及背板
背板进料有残靶或新背板两种形式。这个部分将介绍包括残靶、新背板进料检查。
4.1.1 检测规格须列在: “靶材进料检验表”、“背板进料检验表”和“靶材分离记录表”,检测人员根据報告上所制定的规格对所有背板 和
4.1.2 当残靶进来时,生产主管须开出“靶材分离记录表”。
4.1.3 生产技术员须依规格严格执行。 在检查过程的任何阶段,一旦有不符合规格的情况,生产技术员即向
进料中的不合格品依“不合格控制程序(SZ/QMS/QP8.3 R00)”执行。
4.2靶材
4.2.1所有靶材进厂之后,需检测其外形尺寸并称重,其中,使用卡尺量测外形,磅秤称重。
4.2.2所有靶材需检测其外观,外观标准参照靶材一般进料检验标准(SZ/QMS/QI-Q01 R00)。
4.2.3以上所测数据都将记录在“靶材进料检验表”中。
QA人员需对靶材进行检验状态的标识,参照“标识和可追溯程序”,进料不合格品按“不合格控制程序”(SZ/QMS/QP8.3 R00)执行。
4.3 MgF2
4.3.1 Vir
4.3.2 Track/Condensate 进料检验及不合格参照“MgF2 DMRB流程图
4.4 SiO/SiO2
4.4.1 SiO/SiO2进料检验时需观察材料状态,SiO为黑色颗粒,SiO2为白色透明状颗粒,材料颗粒尺寸需做SA判定,标准参照“材料接受标准
4.4.2 进料不合格按照“不合格控制程序”(SZ/QMS/QP8.3 R00)
4.5 包材
4.5.1
4.5.2进料不合格按照“不合格控制程序”(SZ/QMS/QP8.3 R00)
4.5.3 包材每批随机抽检,抽检比例为总量的5%。
5.0 参考文件
不合格控制程序
标识和可追溯程序
靶材一般进料检验标准
MgF2 DMRB流程图
材料接受标准
6.0表单
靶材进料检验表
背板进料检验表
靶材分离记录表
SOP 版本:
制作:
QA助理工程师
July 23rd , 2010
职位
签名
日期
审核:
高級經理
Brenda Liu
职位
签名
日期
审核:
總經理
Lee Chee Kong
职位
签名
日期
审核:
职位
签名
日期
审核:
职位
签名
日期
修改记录:
修改
作者
更改
审核
执行
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