透射电镜电子探针等技术.pptxVIP

电子探针工作原理 ;电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。 ;X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为： 1.波长分散谱仪（WDS），波谱仪（WDS、WDX）Wavelength dispersive X-ray spectroscopy 用来测定特征X射线波长 2.能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪（EDS、EDX）Energy dispersive X-ray spectroscopy) 用来测定X射线特征能量 ;X射线波长色散谱;电子探针仪电子探针仪的特点和工作原理  第一台商品电子探针X射线显微分析仪(简称电子探针仪)是1956年制成的。 电子探针仪是一种微区成分分析仪器，它利用被聚焦成小于1?m的高速电子束轰击样品表面，由X射线波谱仪或能谱仪检测从试样表面有限深度和侧向扩展的微区体积内产生的特征X射线的波长和强度，得到1 ?m3微区的定性或定量的化学成分。;电子探针显微分析有以下特点