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4、常有问题及解决方法 类别 现象 原因 绒面没有制满 H2 没有实时脱离硅片表 面 硅酸钠含量过大 脂肪酸玷污 反响过于强烈 反响过多 没有完全吹干 反响速度过快或过慢 解决方法 延长制绒时间、 增加 NaOH 增加 IPA 从头配槽、改 善喷淋规范生产操作 手法 增加 2#槽 HNO3 增加 2#槽 HF 改善吹风、增 加 6#槽 HF 含量手动添加 2#槽 的药液含量 备注 单晶制绒 白斑 小雨点 水痕 手指印 多晶制绒 黑绒表面发亮 扩散后发蓝 减重不在范 围之内 confidential confidential
5、未来工艺的发展方向 ? 单晶碱腐化的改良技术 ? 现有工艺改良：单晶小绒面，减少漏电流、 减少磨损的几率。 ? 设施改良，一体化设施：制绒后烘干。 ? 制绒新技术：激光制绒，形成规则金字塔 表面。 ? 多晶酸腐化的改良技术 ? 酸腐化溶液配方的优化 ? 控制反响速度的缓冲剂， H2SO4 ? 在现有工艺的基础上，增加一些辅佐技 术，如蒸气制绒。 规则金字塔表面 confidential confidential
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