PNP双极型晶体管的设计.pdfVIP

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2021-06-11 发布于台湾
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PNP双极型晶体管的设计.pdf

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目录 1. 课程设计目的与任务………………………………………………………… 2 2. 设计的内容…………………………………………………………………… 2 3. 设计的要求与数据…………………………………………………………… 2 4. 物理参数设计………………………………………………………………… 3 4.1 各区掺杂浓度及相关参数的计算……………………………………… 3 4.2 集电区厚度 Wc的选择…………………………………………………… 6 4.3 基区宽度 WB……………………………………………………………… 6 4.4 扩散结深………………………………………………………………… 10 4.5 芯片厚度和质量………………………………………………………… 10 4.6 晶体管的横向设计、结构参数的选择………………………………… 10 5. 工艺参数设计………………………………………………………………… 11 5.1 工艺部分杂质参数……………………………………………………… 11 5.2 基区相关参数的计算过程……………………………………………… 11 5.3 发射区相关参数的计算过程…………………………………………… 13 5.4 氧化时间的计算………………………………………………………… 14 6. 设计参数总结………………………………………………………………… 16 7. 工艺流程图…………………………………………………………………… 17 8. 生产工艺流程………………………………………………………………… 19 9. 版图…………………………………………………………………………… 28 10. 心得体会…………………………………………………………………… 29 11. 参考文献…………………………………………………………………… 30 1 PNP双极型晶体管的设计 1、课程设计目的与任务《微电子器件与工艺课程设计》是继《微电子器件物理》、《微电子器件工艺》和《半导体物理》理论课之后开出的有关微电子器件和工艺知识的综合应用的课程，使我们系统的掌握半导体器件，集成电路，半导体材料及工艺的有关知识的必不可少的重要环节。目的是使我