微测辐射热计.pdfVIP

微 测 辐 射 热 计 红外探测器是广泛地应用于军事、工业、医疗、环境等诸多领域的一类器件， 根据探测原理的不同分为光子探测器与热探测器两类。 光子探测器基于光电效应，优点是对波长的探测选择性强，信噪比高，响应 速度快，因而已深入应用于航天航空、导弹寻的、红外夜视等军事领域。但光子 探测器需要低温工作，必须配备昂贵且笨重的制冷设备，高成本和难以小型化的 缺点制约着其向民用领域的扩展。 热红外探测器基于热敏材料吸收红外辐射产生的热效应，根据热效应的机制 不同又分为微测辐射热计、热释电和热堆三种类型。它们的最大优点是可以在室 温下工作，从而大大降低了器件的体积和成本。近二十多年来，随着焦平面阵列 （FPA ）、超大规模集成电路和微机电系统（MEMS ）以及信息处理等技术的发 展，使得非制冷热红外探测器的探测率得到极大提高，响应时间也满足了成像要 求，为其在军民两大领域开阔了更广阔的应用前景。 1. 微测辐射热计的工作原理 红外微测辐射热计建立在硅信号读出集成电路（read-out integrated circuit, ROIC ）之上，以微机械加工技术制备的热传感器为基础。微测辐射热计是一种 电阻型热传感器，其工作原理是吸收目标物体发出的红外辐射，在引起热敏材料 发生温度变化时，热敏材料的电阻也将发生变化，在外加偏置的作用下产生相应 的电学信号输出，然后还原成图像信息。热敏材料可以是金属或半导体。金属温 度升高，电阻增加；半导体温度升高，电阻减小。目前为止，最好的微测辐射热 计性能，是采用氧化钒半导体作为敏感材料获得的。 2. 微测辐射热计的性能分析 微测辐射热计的重要性能包括电学性能、热学性能、力学性能以及光学性能。 主要介绍其热学性能、力学性能以及光学性能。 2.1 热学性能 微测辐射热计的每个探测单元都是一个独立的个体。探测单元模型如图 2 所示，探测单元包含两条支撑臂，设 A 为探测单元总面积，A 包含支撑臂的面 积在内。微测辐射热计实际工作时，只中心敏感薄膜起探测作用，支撑臂并无探 测作用，敏感薄膜的面积即为有效探测面积，设为AD 。填充因子β 为有效探测 面积与总探测面积的比值，即A /A 。探测单元敏感薄膜的上表面吸收红外辐射， D 下表面与反射层之间形成光学谐振腔，通过热辐射交换热，故探测单元总有效探 测面积为2AD 。微测辐射热计的热导定义为单位温度变化时的热功损耗，设温度 为T，W 为T 时的热功损耗，G 为热导，则G=dW/dT 。 图2 微测辐射热计探测大单元模型图 微测辐射热计通过三种方式进行热传导。 1、传导方式：单个探测单元中，敏感薄膜吸收的热量从桥面经桥腿传向衬 底；相邻探测单元中存在微小的热传导；探测单元若不进行真空封装中，则与周 围大气存在热量传导。 2 、对流方式：探测单元若不进行真空封装，则与周围大气之间的热损耗是 传导方式而不是对流方式，所以对流方式作用非常微弱。 3、辐射方式：热量从探测单元向四周环境辐射，同时环境也向探测单元辐 射。 大多数微测辐射热计都进行真空封装，目的是降低通过对流方式和与大气之 间的传导方式而产生的热损耗，所以探测单元的热损耗只存在与环境之间的辐射 方式和经过桥腿的传导方式。 从微测辐射热计的工作原理中，我们知道微测辐射热计吸收热辐射并将其转 化为温度的变化，因此我们建立辐射吸收模型进行分析。辐射吸收模型简图如图 3 所示，微测辐射热计封装在温度为 Tp 的外壳内，目标发出辐射经过光学系统 和光学窗口，汇聚在微测辐射热计表面。设光学窗口与探测表面之间形成的立体 角为Ω，半锥角为θ，探测表面接收的入射辐射为P ，则： t 图3 微测辐射热计辐射吸收模型 P LA sin 2  （1） t D