PVD真空设备介绍教学PPT课件.pptx

PVD真空设备介绍;2;3;4;5;6;螺杆结构方式;通过减速或注气来冷却—能力降低并减少危险 双螺杆运转 转子啮合匹配 悬臂轴 单级压缩 产生过多的热 有很好的液体兼容性 维护保养非常容易; ; 在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。 ;真空设备原理介绍;12;13;14;1、取涡轮分子泵的一个转子叶列，叶片的倾角为?, 厚度为t，叶片间距为a，长度为b，叶片可看成是彼此平行的长平板。 2、转子叶片将空间分割成空间①和② 3、气体分子从空间①经过叶片进入空间②的几率为W12，反向几率为W21 4、转子运动速度u;16;1、分子泵控制器分为远程控制和本地控制 2、分子泵开启时真空度为5 Pa 3、分子泵加速度、减速度时间约为5分钟 3、紧急停止时易造成分子泵损坏 4、分子泵的真空能力5.0*10-1至5.0*10-6 ？;3.1真空计简介; 依量测范围分： (1)粗略真空计量测范围：760 ~ 1Torr (2)中度空计量测范围：1 ~ 10－３ Torr (3)高度真空计量测范围：10 -3~ 10－7 Torr (4)超高真空计(Ultrahigh vacuum) 量测范围： 10-7 Torr以下;利用(容器内)气体粒子之热速度作用于(容器内)受力表面来直接量测压力之真空计;1、量测压力范围：1500 Torr ～ 1 Torr。 2、可追加2组自动控制设定模块。 3、线性0 ～ 1.5 VDC 输出讯号，可与计算机联机。 ;1、中级真空范围下使用最为广泛的真空计。 2、量测压力范围：1ATM ～ 10-4 mbar。 3、内藏调整设定点，适应制程控制，消除噪声。 4、低输出阻抗及完整的法拉屏壁设计消除噪声。 ; 利用高强度电场产生自发性持续放电作用 ，由阴极产生电离气体分子之电子，电子经由高强度电场加速，加上垂直电子运动方向强磁场之偏向，使电子以螺旋路径飞向阳极。这些飞向阳极之电子，会撞击真空中之气体分子，而造成气体分子离子化并放出电子。 正离子会受到电场的作用而被阴极吸引，形成离子电流。而真空中的电子也会受到电场的作用而被阳极所吸引，形成电子电流，离子电流及电子电流大小相等、方向相反(基于电荷守恒) ，量测此离子电流(或电子电流)即可推导出真空压力大小;量测压力范围：10-2 Torr～10-9 Torr。 感测头，清洗保养容易。 感测头，可更换零件再次使用。 测定低真空至高真空系统之真空度，坚固耐用并可作为系统压力保护装置。;3.8冷阴电容式真空计典型代表—制程高真空;氦气测漏仪;The leak rate states the quantity of gas which flows through a leaking point at a given pressure difference. Unit: mbar · l · s-1;Leak Check;1、Only 5 ppm in the air---a very low background 2、Smallest gas particle except hydrogen 3、Inert gas---does not react with other substances 4、Non-toxic, non-combustible, non-explosive 5、lighter than air---it aids leak testing, as the test gas may escape upwards 6、inexpensive;Vacuum Methods : The equipment to be tested is evacuated. Local leak detection :Evacuated test sample Helium is sprayed on from the outside.;Where to connect a Leak Detector? ;A helium leak detector measures the helium partial pressure in the pump line and converts it into a leak rate.;Selective Mass Spectrometer;氦气测漏仪—Overview of Leak Detection; Technical I