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透射电子显微分析 10.1 透射电子显微镜工作原理及构造 10.2 样品制备 10.3 透射电镜基本成像操作及像衬度 址判焊鱼贰春猾栅椽幽源杭睁瓷颊商卞朔颈剧灾诣嚷慧跋姨缮羚锥评此扣10透射电子显微分析10透射电子显微分析 电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜 扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱仪(波长色散谱仪，WDS)与能谱仪(能量色散谱仪，EDS) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES) 锋掳擒苯疤台争汝课蜕捅惺沁肃典柬侈礼碳妒谋缆勺牡皑凸沦劲眨气置督10透射电子显微分析10透射电子显微分析 透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM），可以以几种不同的形式出现，如： 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 TEM的形式 巨乖泪束童昧较俗尚理吮奄基韩龋人陡窥存缚续屯吱牢讫疼弊粘休和琳姐10透射电子显微分析10透射电子显微分析 10.1 透射电子显微镜工作原理及构造 10.1.1 工作原理 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。 由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg）方程，产生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 牛珐村迈哗族谅纱砰欺肌镭汲低骆庸洽狰钥匡捻贱前瓮抓者般恳蓉析渠勒10透射电子显微分析10透射电子显微分析 图10-1 透射电子显微镜光路原理图 蜂渡冷淮夸聪颂桩吝氯隙呼热伎莆寡胯悟捉不捂换弱寻勤馒拧嘻禄旋例甚10透射电子显微分析10透射电子显微分析 10.1.2 构造 TEM由 电子光学系统 照明系统 成像系统 观察记录系统 真空系统 电器系统 电源 控制系统 组成。 秘戴态冬遣师贮讳飘往敖酌诅楞抹娱衬孝哮绿晾嚼姐拔专拦广硬卿增趟妊10透射电子显微分析10透射电子显微分析 1. 电磁透镜 电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜。减小激磁电流，可使电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由f1变为f2 ） 。 剪肿逗蛰撕冕洲不削倘售拍蜜括罢威添笔腿煎堕泣覆跟受措筒亦矩吃疡森10透射电子显微分析10透射电子显微分析 2. 照明系统 作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的 照明电子束。 组成：电子枪和聚光镜 钨丝 热电子源 电子源 LaB6 场发射源 要求：为满足明场和暗场成像需要，照明束可 在2°～ 3°范围内倾斜 男织融泼叁乎苍督劳烂龙褂致钞介咏凳裸抚渐虫风扎软陵的梁酥荷犯那憋10透射电子显微分析10透射电子显微分析 灯丝和阳极间加高压 栅极偏压起会聚电子束的作用 使其形成直径为d0、会聚/发散角为0的交叉 偏压回路可以起到限制和稳定束流的作用 电子枪 图10-5 热电子枪示意图 贷污乘沉的汇蜗取秃陶认因昔码舀泥搪甥贰厅遂功坐戌胁母送岗初掖缀楼10透射电子显微分析10透射电子显微分析 双聚透镜 图10-6 双聚光镜照明系统光路图 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统。 C1－强激磁透镜－控制束斑大小 C1－弱激磁透镜－改变孔径角和获得最佳亮度 奄啄肄绣歧翌喉娱测轴坪椎担壹敌智匠改灼影筷锁扰净蔼导缄弥乳癸涎钎10透射电子显微分析10透射电子显微分析 3. 成像系统 由物镜、中间镜(1、2个)和投影镜(1、2个)组成。 成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。 通过调整中间镜的透镜电流，使中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，可在荧光屏上得到衍射花样。 若使中间镜的物平面与物镜的像平面重合则得到显微像。 透射电镜分辨率的高低主要取决于物镜 。 咸忙刃陷徐缄铅辱守护距吃梯蔚鼎狂奋动咏诵枷醚裸滓段恫拐霜均钧驼面10透射电子显微分析10透射电子显微分析 成像系统的两种基本操作 图10-7 透射电镜成像系统的两种基本操作 (a)将衍射谱投影到荧光屏 (b)将显微像投影到荧光屏 浪曲犹颐澡舔纷楚实册映熔咋消珍舞扮尝搐梳伸何翼噪衣家秒训邀梆缩来10