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中国电子特种气体行业市场规模分析
? ? 电子特种气体又可划分为掺杂气、外延气、离子注入用气、LED用气、蚀刻用气、化学汽相沉淀用气、载运和稀释气体等几大类, 种类繁多, 在半导体工业中应用的有110余种电子气体, 常用的有20-30种.
? ? 现在的电子半导体技术对于产品的性能和参数要求极其苛刻, 对产品的制造环境要求极其严格, 随着半导体制程精密化程度越来越高, 对特气的纯度要求也相应提升, 以维持芯片表面的洁净度, 提升产品良率, 因此对特种气体在掺杂、保护、注入等方面的应用需求很大.
? ? 全球角度来看, 2015年全球集成电路用电子特种气体的市场规模为35亿美元, 过去几年一直保持稳定, 预计2017年的市场规模与2015年基本一致. 在市场格局方面, 由于电子特种气体对纯度要求极高, 掌握高纯工艺、大规模量产的公司主要集中于欧美日的几家巨头公司, 2014年美国气体化工、法国液化空气、日本酸素、普莱克斯和林德集团合计全球份额达到94%.
2012-2017年全球集成电路用电子特种气体市场规模
? ? 截止2016年底, 国内方面电子特种气体行业集中度高, 美国空气化工(APCI)、普莱克斯、日本昭和电工、英国BOC公司（已被德国林德集团收购）、法国液化空气、日本酸素这六家公司合计占据了中国电子特种气体85%的市场份额.
? ? 根据统计, 截止2015年底, 中国共有特种气体生产企业150余家, 但多数企业生产规模较小. 近年来, 随着国家对半导体产业的支持力度不断加大, 02专项等科研项目推动中国本土的电子特种气体产品水平不
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