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电子元器件失效分析技术
第一讲失效物理的概念
失效的概念
失效定义
1特性剧烈或缓慢变化
2不能正常工作
失效种类
1致命性失效:如过电应力损伤
2缓慢退化:如MESFE的IDSS下降
3间歇失效:如塑封器件随温度变化间歇失效
失效物理的概念
定义:研究电子元器件失效机理的学科 失效物理与器件物理的区别 失效物理的用途
失效物理的定义
定义:研究电子元器件失效机理的学科 失效机理:失效的物理化学根源 举例:金属电迁移
金属电迁移
失效模式:金属互连线电阻值增大或开路 失效机理:电子风效应
产生条件:电流密度大于10E5A/cm2
高温
纠正措施:高温淀积,增加铝颗粒直径,掺铜, 降低工作温度,减少阶梯,铜互连、平面化工艺
失效物理与器件物理的区别
撤销应力后电特性的可恢复性 时间性
失效物理的用途
1失效分析:确定产品的失效模式、失效机 理,提出纠正措施,防止失效重复出现
2可靠性评价:根据失效物理模型,确定模 拟试验方法,评价产品的可靠性
可靠性评价的主要容
产品抗各种应力的能力
产品平均寿命
失效物理模型
应力-强度模型 失效原因:应力〉强度 强度随时间缓慢减小
如:过电应力(EOS、静电放电(静电放电 ESD、 闩锁
(latch up)
应力一时间模型(反应论模型) 失效原因:应力的时间累积效应,特性变化超差。 如金属电迁移、腐蚀、热疲劳
应力一强度模型的应用
器件抗静电放电(ESD能力的测试
温度应力一时间模型
E
4M—— Ae - kT
dt
T高,反应速率大,寿命短
E大,反应速率小,寿命长
温度应力的时间累积效应
_E_
Mt- M0 Ae讦(_t° ) t
失效原因:温度应力的时间累积效 应,特性变化超差
与力学公式类比
dM
dt
Mt -
mv
Ae
dt
Ae kT( - to ) t mv F (- t
Mo
to)
失效物理模型小结
应力-强度模型与断裂力学模型相似,不 考虑激活能和时间效应,适用于偶然失效 和致命性失效,失效过程短,特性变化快 ,属剧烈变化,失效现象明显
应力-时间模型(反应论模型)与牛顿力 学模型相似,考虑激活能和时间效应,适 用于缓慢退化,失效现象不明显
应力一时间模型的应用:预计元器件平均寿命
1求激活能E
InInL1A exp(kTkTIn
In
In
L1
A exp(
kT
kT
In L 2
EkT 2
1/T2
1/T2
1/T1
预计平均寿命的方法
2求加速系数F
L2■Aexp(AEexp( )) kT
L2
■Aexp(
AEexp( )
) kT2
E
Aexp() E kT1
L i——
E 1 1
2 exp((-)) kT
L 1 k
1
L
1
T21T
L2
,E , 1 exp( (
k
T2
1))
设定高温为T1,低温为T2,可求出F
预计平均寿命的方法
由高温寿命L1推算常温寿命L2
F=L2/L1
对指数分布
L1=MTTF=1A
入失效率
失效率=
试验时间失效的元件
初始时间未失效元件数
数
试验时间
温度应力一时间模型的简化:十度法则
容:从室温算起,温度每升高10度,寿 命减半。
应用举例:推算铝电解电容寿命
105C,寿命寿1000h (标称值)
55C,寿命 1000X2E5=32000h
35C,寿命 1000X2E7=128000h =128000/365/24=14.81 年
小结
失效物理的定义:研究电子元器件失效机理 的学科
失效物理的用途:
1失效分析:确定产品的失效模式、失效机 理,提出纠正措施,防止失效重复出现
2可靠性评价:根据失效物理模型,确定模 拟试验方法,评价产品的可靠性
第二讲阻容元件失效机理
电容器的失效机理
电解电容 钽电容 陶瓷电容 薄膜电容
电解电容的概况
重要性:多用于电源滤波,一旦短路,后 果严重
优点:电容量大,价格低
缺点:寿命短,漏电流大,易燃
延长寿命的方法:降温使用,选用标称温 度高的产品
电解电容的标称温度与寿命的关系
标称温度(C)
85
125
105
标称温度寿命(h)
1000
1000
1000
工作温度(C)
35
35
35
工作温度寿命(h)
1000X2E5
1000X2E9
1000X2E7
32000
128000
912000
3.65 年
14.6 年
59.26 年
电解电容的失效机理和改进措施
漏液:电容减小
阳极氧化膜损伤难以修补,漏电 流增大。
短路放电:大电流烧坏电极
电源反接:大电流烧坏电极,阴极氧化, 绝缘膜增厚,电容量下降
长期放置:不通电,阳极氧化膜损伤难以 修补,漏电流增大。
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