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真空科学技术及应用 真空科学技术及应用 一、经典真空技术与设备 第一章 真空及其应用 张振厚 李云奇 1.1 真空科学发展史的回顾及其分支学科的划分 人们通常在回顾真空科学发展史时，常常误认为1643年托里析利的压力实验和1650年葛利克发明抽气机是对真空这一现象的最早发现。其实早在公元前六世纪我国在冶铁技术中即采用了“风箱鼓风法”，这是利用真空进行吸气原理有记载的描述。公元218~316年我国晋朝医生葛洪又创造了“拔火罐”医疗法。这是真空技术在医学上应用的具体例证。可见葛利克抽气机的发明与我国的风箱鼓风抽气相比较，在时间上至少要晚几百年。因此在我们回顾真空科学发展的历程时，是不应忘记我们的祖先，对人类在早期发展真空技术中所做出的贡献。 但是，真空科学与技术作为独立的科学体系还是从20世纪初开始的。这时由于电子器件，原子能，航天技术对真空环境的需求，极为迫切，从而大大的推动了这一技术的发展。除了作为获得，检测，真空系统及其元件等产品的自身发展借以配合许多科学创新的条件和手段外，由于现代科学技术的相互交叉与渗透，因此又极大的丰富了真空科学与技术的内涵。尤其是“超高真空”，“超清洁表面”的出现，揭示了自然界中许多新颖的现象和规律，其中纳米技术的发展就是很好的例证。目前“真空科学与技术”包括了诸多的学科分支，表1-1给出了“国际真空科学技术与应用协会（IUVSTA）的划分方法及其分支学科的内容。” 1.2 大气与真空 1.2.1 大气的性质 大气虽然是一种看不到、摸不着，既无色，也无味的气体，但是，它确占有一定的空间和具有一定的重量。把一个没有打气的篮球用比较精密的天平称一下，然后打足气再称一次。结果，第二次称得的篮球重量比第一次增加了。实验证明，每一升大气大约有1克多重。 大家知道，在我们周围所有的东西，不论大小都被地球引力所吸引，当然大气也不例外。不过，在这里我们应当补充一点，这就是大气不但有重量，而且它还是可以压缩的。因此， 当上一层大气压在下一层大气的上面时，下一层大气就会被压得比上一层大气更密实些。表明大气轻重程度的物理量是气体的密度，它的单位是克/厘米3。在真空技术中，还通常用气体的分子密度来说明大气的稀薄程度。用气体单位体积内所含有的气体分子数来表示。其单位是 个/厘米3。 因为处于地球表面上下层大气所受到的压缩最大，因此这一层大气的密度也就最大，相反，离开地球表面越高，大气的密度也就越小。这就是地球周围大气层上疏下密的原因。 表1-2给出了标准大气的温度压力、密度与大气层高度的关系。 注：“托”是压力单位的一种表示方法，我们将在以后的有关部分中介绍。 关于大气层的厚度，确切地说，它是没有明显界限的。一般来说，按照密度的概念可以粗略地认为。它的厚度大约有十六公里左右。 大气不但有一定的重量，而且它又是由各种不同气体组成的，其成份和它的分压强如表1-3所示。 表1-3 标准大气的成份 1.2.2 大气的压力 大家知道，世界上的一切物质都是由极其微小的粒子所组成，在物理学中称它为分子。分子有大有小，大小差别也很悬殊。但是，我们即便使用放大倍数高达几十万倍的电子显微镜，也只能找到几个分子。在这里我们不妨打个比喻，如果拿水分子与乒乓球相比，那就像用乒乓球同地球相比一样，分子实在是小得可怜啊！根据科学的计算，组成任何物质的分子，它们的直径都在10-8厘米这个数量级范围内。分子虽然小得这么可怜，但是它确实每时每刻都在进行着毫无规则的运动，而且分子的这种杂乱无章的运动又与它本身的温度有关，因此，在物理学中把这种运动称为分子的热运动。 由分子这种热运动所引起的气体分子之间、气体分子与地球表面及地球表面上任何物理之间的频繁碰撞的结果，就必然要引起“力”的作用。这个“力”就是大气的压力。因此，我们说，气体压力是力的概念，而这种力是永远与气体分子永不停止的运动相联系着的。当然在“真空技术”中，我们所说的压力含义，那是指气体分子作用于容器壁单位面积上的力。这一点是应当记住的。 表大气压力实验如图1-1所示。用一根一端封闭起来的长玻璃管和一个盛装水银的小槽子，首先从玻璃管的开口端向管内灌满水银，通过水银把大气从管内赶走，再用手指按住管口，把玻璃管倒立在水银槽的水银中，然后放开手指，此时管内的水银将逐渐下落，如果这根管子长度大于760毫米，那么，当管内水银下降到760毫米的位置时，它就会不再下降。由于水银的比重是13.6克/厘米3，所以支持这个水银柱的力量，在每平方厘米的面积上是1.03公斤。这个力就是大气压力。实验的首创者是著名的物理学家托里析利，实验的时间是1643年。 为了证明大气的