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半导体制造专业术语.pdfVIP

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  • 2021-07-16 发布于河北
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半导体制造专业术语.pdf

    微电子制造专业术语 1 Active Area 主动区 （工作区） 主动晶体管 （ACTIVE TRANSISTOR ）被制造的区域即所谓的主动区 （ACTIVE AREA ）。在标准之 MOS 制造过程中 ACTIVE AREA 是由一层氮化硅光罩即等接氮化硅蚀刻之后的局部场区 氧化所形成

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