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臭氧杀灭细菌和病毒的作用通常是物理的、化学的及生物的等几个方面的综合作用，其作用机制可归纳为以下几点：
1、作用于细胞膜导致细胞膜的通透性增加，细胞内物质外流，使细胞失去活力。
2、使细胞活动必须的酶失去活性。这些酶是合成细胞的重要成分。
3、破坏细胞内遗传物质导致新陈代谢障碍直至死亡，这一过程也是极为迅速的。展坤刘梅提示消毒没有二次污染，是目前最绿色的消毒剂。
臭氧对微生物之杀灭效果
对细菌繁殖体有关臭氧的杀菌实验报告较多，伍学洲等在无菌罩（0.7ppm/m3）通入臭氧，试验观察发现经臭氧作用20分钟和30分钟对大肠杆菌杀灭率为97.5％和100％；对金黄葡萄
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