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激光干涉仪测长原理典型的激光干涉仪由激光器偏振分光镜测量反射镜参考反射镜光电检测器检偏器和三个波片和组成激光为线偏振光经偏振分光镜分为和两线偏振光当两干涉臂中波片快轴或慢轴与轴夹角相等且为度时两束光通过波片后均成为圆偏振光反射后再次通过波片又转换为线偏振光但其振动方向相对原振动方向旋转了度且由于两干涉臂光程产生了相位差根据公式式中为激光波长干涉光路的作用是把位移转变为合成光振动方向的旋转角进而转换成光电信号的相位信号处理器的作用就是测量出从而计算出位移垂直度的测量工具在一台机器施工实例多轴系统双
激光干涉仪测长原理
典型的激光干涉仪由激光器 L、偏振分光镜 PBS、测量反射镜 M、参考反射镜 R、光电检测器
D、检偏器 P 和三个 λ/4 波片 Q1、Q2 和 Q3 组成。激光为线偏振光，经偏振分光镜分为 E1 和 E2
两线偏振光。当两干涉臂中 λ/4 波片快轴 ( 或慢轴 ) 与 X 轴夹角相等且为 45 度时，两束光通过 λ
/4 波片后均成为圆偏振光，反射后再次通过
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