SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪.pdf

产品解决方案 SuperView W1 3D 产品名称： 系列光学 表面轮廓仪 联 系 人： 联系电话：0755 公司地址：深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋二层 公司网址： 深圳市中图仪器股份有限公司 SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪 一、 产品简介 SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测 仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z 向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫 描并建立表面3D 图像，通过系统软件对器件表面3D 图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质 量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C 电子玻璃屏及其精 密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、 科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件 的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT 四大国内外标准共计300余 种2D、3D 参数作为评价标准。 二、 产品功能 1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件 自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。 2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。 3) 测量中提供拼接测量功能。 4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校 平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、 过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。 - 1- SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪 5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其 中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287 的线粗糙度、ISO25178 面粗糙度、ISO12781平整 度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆 度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱 分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。 6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自 动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。 三、 应用领域 对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐 蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。 应用范例： 半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC、镭射槽道轮廓 3C 电子蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差. 超精密加工.光学透镜 精密加工.发动机叶片 -2 - SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪 精密加工.金字塔型金刚石磁头 标准样块单刻线台阶、多刻线粗糙度. 四、 性能特色