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扫描电子显微镜（SEM） Transmittance Electron Microscopy 透射电子显微镜（TEM） Scanning Electron Microscopy ; 电镜的基本类型 ;直接透射电子;（1）透射电镜 TEM 透射电镜图片类似于投影图，立体感较扫描电镜图差，对于样品厚度有严格要求，主要用于样品内部结构的分析。 ;（2）扫描电镜 SEM 通过反射电子或二次电子对样品表面进行分析的电镜技术，简称为扫描电镜 Scanning Electron Microscopy, SEM。 ;（2）扫描电镜 SEM 与透射电镜相比，扫描电镜图片具有更佳的立体感，主要应用于样品表面形貌、组成及结构的分析。 ;扫描电子显微镜;1. 引 言; 一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。 ; ; ; ; ;五、特征Ｘ射线 当样品原子的内层电子被入射电子激发，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而使具有特征能量的Ｘ射线释放出来。 用Ｘ射线探测器测到样品微