培训系列之8(刘玉岱)质谱原理与真空检漏.pptx

质谱原理与 真空检漏;《真空技术》;真空检漏;1 检漏概述;1.1 检漏的意义及其重要性;1.1 检漏的意义及其重要性;1.1 检漏的意义及其重要性;1.2 漏气判断和漏孔表示法 ;1.2 漏气判断和漏孔表示法 ;1.2 漏气判断和漏孔表示法 ;1.3 漏孔气流特性 ;1.3 漏孔气流特性 ;1.4 最大允许漏率的计算 ;1.4 最大允许漏率的计算 ;1.4 最大允许漏率的计算 ;1.4 最大允许漏率的计算 ;1.4 最大允许漏率的计算 ; 一些真空设备的允许漏率;1.5 对检漏方法的要求及选择 ;1.5 对检漏方法的要求及选择 ;1.6 检漏技术中的几个概念 ;1.6 检漏技术中的几个概念 ;2 检漏方法;2.1 真空检漏法; 探索法真空检漏系统;2.1 真空检漏法;2.2 充压检漏法;2.2 充压检漏法;2.2 充压检漏法;2.2 充压检漏法;2.3 背压检漏法;2.3 背压检漏法;2.4 各种检漏方法比较;2.4 各种检漏方法比较;2.4 各种检漏方法比较;3 检漏仪;3.1 氦质谱检漏仪;3.1.1 氦质谱检漏仪工作原理;3.1.1 氦质谱检漏仪工作原理; 在离子源内，气体分子被由灯丝发射的并具有一定能量的电子电离成离子，在电场作用下离子聚焦成束，并在加速电压作用下，以一定的速度经过离子加速极的缝隙进入分析器。在分析器中，在与离子运动方向相垂直的均匀磁场作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨道运动，其离子束偏转半径可由下式计算： R=√(2mU/(Ze)) /B 式中 e — 基本电荷量（1.6×10-19 C）； m — 离子质量（1.66×10-27·Mkg，M为离子的质量数）； U — 离子加速电压，V； B — 磁感应强度，T； R — 离子轨道半径，m； Z — 离子所带基本电荷数。 上式也可写成如下便于计算的公式： R= 1.44×10-4√（MU/Z）/B 式中 M/Z — 离子的质荷比，即离子的质量数与电荷数之比。; 由上式可见，当B和U为定值时，不同质荷比的离子有不同的偏转半径。只有离子的偏转半径与分析器的几何半径(质谱室原理图中，离子入口缝S1和出口缝S2所在圆的半径)相等的离子束(原理图中的2)才能通过出口缝隙S2到达收集极D形成离子流。而其它质荷比的离子束(如原理图中的1和3)，则以不同于分析器几何半径的偏转半径而被分离掉。 例如，有台检漏仪，R=4cm，B=0.14T，示漏气体为He（其一价氦离子的质荷比M/Z=4），问其加速电压应调到多大才可进行检漏？ 由上式可得： 即加速电压调至378V就能进行检漏。; 为了使离子流信号有一定的量值，质谱室中的离子出口缝隙S2有一定宽度。加速电压U有一个调节范围，调加速电压以使检漏仪输出信号最大，此时的加速电压称为“氦峰”。; 单级磁偏转型氦质谱仪的磁分析器，也可以采用60°或90°偏转，其原理图如下图所示。;双级串联磁偏转型检漏仪工作原理; 如上图所示，在两个分析器中间，即在中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二分析器之前再次加速。因此，那些具有氦离子动量相同的其它气体离子，虽然可以通过第一个分析器，但经过第二次加速进入第二分析器时，由于其动量与氦离子动量不同而被分离。这样一来使得仪器本底信号及噪声显著减小，提高了仪器灵敏度。通常，单级磁偏转型氦质谱检漏仪的灵敏度为10-9～10-12 Pam3s-1，而双级串联磁偏转型灵敏度可达10-14～10-15 Pam3s-1。;逆流氦质谱检漏仪的工作原理; 逆流氦质谱检漏仪的结构示意图如上图所示。仪器的质谱室位于主泵的入口一侧，被检件位于主泵的前级真空一侧。由于漏入被检件的示漏气体在主泵中逆流进入质谱室，所以称这种检漏仪为逆流检漏仪。 以扩散泵为主泵的逆流氦质谱检漏仪是根据油扩散泵压缩比与气体种类有关的原理制成的。多级扩散泵的压缩比对于氦气可以达到102；对于空气中其它成分为104～106。 涡轮分子泵对轻质量气体压缩比小，也用作逆流检漏仪的主泵。因此，在逆流氦质谱检漏仪中，氦气通过漏孔和被检件进入主泵前级管道后，仍有部分氦气穿过主泵返流到质谱室中去，并输出漏气信号。此种检漏仪的灵敏度可达到10-8～10-12Pam3s-1。; 在检漏仪处于最佳工作条件下，以一个标准大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时，所能检出的最小漏孔的漏率称为氦质谱检漏仪的漏率灵敏度，或称最小可检漏率。 在检漏仪质谱室处于工作压力下，仪器可检出的氦分压比的最小变化量称为分压比灵敏度，亦称为最小可