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电子背散射衍射技术及其应用 1． 前言 “ 显微组织” 和“ 晶体学” 是材料工程师、地质学家和物理学家所熟知的概 念。“ 显微组织” 是指材料的微观几何量，如：晶粒尺寸、形状和各组成相的分 布。而“ 晶体学” 概念则包含各晶体的内部结构和对称性等内容，如：晶系、取 向、原子排列等。 就材料分析而言，同时获得显微组织和晶体学的知识通常是很重要的。传统 的研究方法是平行而不相联系的，光学显微镜、扫描电子显微镜和图像分析用以 分析显微组织；X 射线衍射分析、中子衍射及透射电子显微镜的衍射功能用于晶 体学分析。 传统方法的主要不足在于缺乏显微组织和晶体学两个分支间的直接联系，也 就是说，虽然总体上的取向分布可以测得，但却不能从这些数据中提取单个晶粒 的取向。因此，无法获得有关晶体取向的空间分布的大量信息，包括晶界特征， 而且，不能区分显微组织中的具有相同或相似化学成分但不同结晶学关系的共存 相。这里一个普遍的共性就是不能以常规手段在成像同时做衍射。 一种称之为“ 电子背散射衍射(electron backscattered diffraction, EBSD)” 的新技术开始于本世纪 80 年代末，此技术允许