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扫描电子显微镜实验报告 学 生 姓 名 周 剑 学 生 学 号 20111401213 专 业 班 级 材 料 1112 小 组 成 员 韩 彬 懿 陈 宝 山 李 明 达 2014 年 6 月 15 日 一 实验目的 1. 了解扫描电镜的结构、用途及基本原理； 2. 了解扫描电镜的样品制备； 3. 通过实际分析，明确扫描电镜和电子探针仪的用途。 二 扫描电子显微镜构造 2.1 示意图 图一 系统方框图 图二 扫描电镜外观 2.2 扫描电子显微镜各部分介绍 扫描电镜主要由三个基本部分组成： 1，电子光学系统； 2，信号收集处理、图像显示和记录系统； 3，真空系统。 2.21 电子光学系统 电子光学系统：包括 电子枪、电磁透镜、扫描线圈和图样室 电子枪： 为了获得较高的信号强度和扫描像， 由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮 度和尽可能小的束斑直径。 常用的电子枪有三种：普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴 极电子枪和场发射电子枪。 电磁透镜：其功能是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，因照射到样品上的电子束光斑越小， 其分辨率就愈高。扫描电镜通常都有三个聚光镜， 前两个是强透镜，缩小束斑，第三个透 镜是弱透镜，焦距长，便于在样品室和聚光镜之间装入各种信号探测器。 为了降低电子 束的发散程度，每级聚光镜都装有光阑。为了消除像散，装有消像散器。 扫描线圈： 其作用是使电子束偏转， 并在样品表面作有规则的扫动， 电子束在样品上的扫 描动作和在显像管上的扫描动作由同一扫描发生器控制 ,保持严格同步。当电子束进入偏 转线圈时，方向发生转折，随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二次转折 ,再通过末级 透镜的光心射到样品表面。 在上下偏转线圈的作用下， 在样品表面扫描出方形区域， 相应 地在样品上也画出一副比例图像。 图三 （a）光栅扫描（ b ）角光栅扫描 样品室： 样品室中有样品台和信号探测器， 样品台除了能夹持一定尺寸的样品， 还能使样 品作平移、 倾斜、转动等运动， 同时样品还可在样品台上加热、冷却和进行力学性能实验 （如拉伸和疲劳）。 2.22 信号搜集和图像显示系统 样品在入射电子束作用下会产生各种物理信号，有二次电子、背散射电子、特征 X 射线、 阴极荧光和透射电子。 不同的物理信号要用不同类型的检测系统。 它大致可分为三大类， 即电子检测器、 阴极荧光 检测器和 X 射线检测器。 2.23 真空系统 如果真空度不足，除样品被严重污染外，还会出现灯丝寿命下降，极间放电等问题。 注：真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态， 是一种 物理现象 。在 真“ 空 ”中，声音因为没有 介质 而无法传递，但 电磁波 的传递却不受真空的影响。事实上，在真 空技术里， 真空系针对 大