用于沉积聚合物材料的工艺腔室和该工艺腔室中用的喷头[实用新型专利].docxVIP

专利内容由知识产权出版社提供 专利内容由知识产权出版社提供 专利名称：用于沉积聚合物材料的工艺腔室和该工艺腔室中用 的喷头 专利类型：实用新型专利 发明人：格里菲斯·克鲁兹·乔 ,钱多,徐晶晶 申请号：CN201420459260.0 申请日公开号：CN204134770U 公开日摘要：本文提供了用于沉积聚合物材料的工艺腔室和该工艺腔室中用的喷头。在一些实施方式中，在被配置用于沉积聚合物材料的工艺腔室中使用的喷头可包括：区隔板，具有多个通孔以允许包含聚合物的工艺气体流经所述区隔板；和主体，设置在区隔板之下，由不锈钢制造，所述主体具有：多个通孔，以允许气体通过主体的流动；和加热器，嵌入在主体之内以当包含聚合物的工艺气体流经主体时，将主体保持在适合于促使包含聚合物的工艺气体分解的温度下。 申请人：应用材料公司 地址：美国加利福尼亚州 国籍：US 代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司 更多信息请下载全文后查看