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上海大学
硕士学位论文
锆钛酸铅压电膜式微驱动器的设计与制备技术
姓名：杨晓燕
申请学位级别：硕士
专业：微电子与固体电子学
指导教师：程晋荣
上海大学硕士学位论文锆钛酸铅压电膜式微驱动器的设计与制备技术
摘 要
抗疲劳特性及电极与硅衬底的附着性，采用氧化物电极LaNi03(LNO)来取代传
统Pt电极。并剩耀LaNi03薄膜作为过渡层将PZT薄膜与金属复合来拓宽PzT
薄膜的应用范围。
采潮溶胶一凝胶工艺在硅(Si)衬底及钛(氍)金属基片上戮LNO为底电
极制备PZT铁电薄膜，研究LNO的晶化温度、厚度及其前驱体溶胶浓度等对
PZT薄膜微结构和电性能的影响。结果表明当LNO的晶化温度为750oC，厚
度为250hi／1，LNO溶胶浓度为0．1mol／L时PZT薄膜具有较好的结构及电性
kHz
能：对于Si和髓基片l s，时分掰为747和395。2，tan6分别为0．03和
0．038；在50
kV／cm。相对瓢树底，在Si衬底上以LNO为底电
p．C／cm2，Ec分别55和99
极制备的PZT薄膜的介电常数较大、介电损耗较小、漏电流密度较小、矫顽场
强较小，但剩余极化较小。
用ANSYS软件设计了基于PZT薄膜的膜式微驱动器，对其上电极结构
进行了优化设计，运动状态进行了仿真模拟。得到了膜式微驱动器的最优上
电极为边长或直径为2．16mm的方形电极或圆形电极；其谐振基频分别为
25．06和25．22kHz；在振幅为20
V基频的电压下驱动器位移为109pm和
115弘m。根据ANSYS设计的膜式微驱动器，设计微加工工艺流程制备了基
于PZT／Pt／Ti／Si02／Si多层结构的膜式微驱动器。测试得到膜式微驱动器的前
三阶谐振频率分别为22．0，74。24和77。77kHz；当施加电压振幅超过10V时，
振动位移超过1．3l
1．trn。
式微驱动器
V
上海大学硕士学位论文锆钛酸铅压电膜式微驱动器的设计与制备技术
ABSTRACT
ale
LeadZirconate filmsattractivematerialsfor
Titannate(Pb(Zro．53Ti0．47)03)thin
actuators and
MEMSsensorsand duetotheirexcellent
dielectric，ferroelectrie
orderto the ofthePZTfilmsaswell
piezoelectricproperties．In anti-fatigue
improve
astheadhesionoftheelectrodeandtheSi conductiveoxidethinfilms
substrate，the
isusedto the Ptelectrode．PZTfilmsalealso
conventional
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